อุปกรณ์ควบคุมเซรามิกอลูมินา Semicorex เป็นส่วนประกอบอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ประสิทธิภาพสูง ผลิตจากอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการจัดการเวเฟอร์ที่ปราศจากการปนเปื้อนอย่างแม่นยำ หุ่นยนต์ควบคุมนี้มีคุณลักษณะด้านความสะอาดเป็นพิเศษ ความเสถียรที่เหนือกว่า ความแม่นยำสูง ประสิทธิภาพที่เพิ่มขึ้น และประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ ทำให้เป็นตัวเลือกในอุดมคติของคุณ
หุ่นยนต์เซรามิกอลูมินาเรียกอีกอย่างว่าอลูมินาเซรามิกส้อมและเอฟเฟกต์ปลายการจัดการเวเฟอร์ มันถูกติดตั้งบนหุ่นยนต์จับแผ่นเวเฟอร์และเทียบเท่ากับมือของหุ่นยนต์ ใช้ในการพกพา ขนส่ง และจัดตำแหน่งเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์เวเฟอร์ซิลิคอนมีความอ่อนไหวอย่างยิ่งต่อการปนเปื้อนจากอนุภาคอื่น ๆ ดังนั้นโดยทั่วไปแล้วพวกมันจึงได้รับการจัดการในสภาพแวดล้อมสุญญากาศเพื่อให้มั่นใจในความสะอาด อุปกรณ์ควบคุมเซรามิกอลูมินาใช้การดูดด้วยแรงดันลบเพื่อกำจัดเวเฟอร์และขนส่งเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ผ่านการเคลื่อนไหวแบบเหลื่อม การหมุน และการยกของแขน มีรูอากาศและร่องระบายอากาศภายในหุ่นยนต์เซรามิกอลูมินา ซึ่งสามารถสร้างสุญญากาศได้เมื่อสูบอากาศ เพื่อให้เวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์สามารถถูกดูดซับโดยการสัมผัสด้วยแสงโดยไม่บีบหรือทำลายเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์
เป็นที่ทราบกันดีอยู่แล้วว่ายิ่งมีองค์ประกอบของอลูมินาเซรามิกคือยิ่งมีความแข็งแกร่งมากเท่าไร อุปกรณ์ควบคุมเซรามิกอลูมินา Semicorex ทำจากเซรามิกอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง ส่งผลให้มีความแข็งแรงและความแข็งทางกลที่ยอดเยี่ยม ความต้านทานต่อการสึกหรอสูงกว่าเหล็กกล้าและเหล็กกล้าโครเมี่ยมอย่างมาก ทำให้สามารถรักษาความแม่นยำของพื้นผิวเมื่อเวลาผ่านไปในสภาพแวดล้อมที่มีแรงเสียดทานสูง ช่วยลดความเสี่ยงที่จะเกิดรอยขีดข่วนของแผ่นเวเฟอร์ และทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการจัดการที่มีความแม่นยำสูง หุ่นยนต์เซรามิกอลูมินานี้มีความต้านทานสูง คุณสมบัติของฉนวนไฟฟ้าที่โดดเด่นสามารถป้องกันการรบกวนจากไฟฟ้าสถิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ และลดความเสี่ยงของการดูดซับอนุภาคเพื่อรักษาพื้นผิวเวเฟอร์ที่สะอาด นอกจากนี้ กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ยังเกี่ยวข้องกับวงจรที่ซับซ้อนและสภาพแวดล้อมไฟฟ้าแรงสูงภายในอุปกรณ์ อุปกรณ์ควบคุมเซรามิกอลูมินาความต้านทานสูงบล็อกการนำกระแสไฟฟ้าได้อย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยให้มั่นใจในความปลอดภัยทางไฟฟ้าในระหว่างการจัดการแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงและความเสถียรทางความร้อนของอลูมินาเซรามิก อุปกรณ์ควบคุมจึงเปลี่ยนรูปน้อยมากในระหว่างกระบวนการบำบัดความร้อนด้วยเซมิคอนดักเตอร์ สามารถวางตำแหน่งเวเฟอร์ได้อย่างแม่นยำ และหลีกเลี่ยงการเบี่ยงเบนที่แม่นยำที่เกิดจากการเสียรูปเนื่องจากความร้อน นอกจากนี้ วัสดุนี้ยังมีความเสถียรทางเคมีที่ดีเยี่ยม และทนทานต่อการกัดกร่อนด้วยกรด ด่าง โลหะหลอมเหลว ฯลฯ ได้สูง ไม่ใช่เรื่องง่ายที่จะทำปฏิกิริยากับสารอื่นเพื่อปล่อยอนุภาคที่ก่อให้เกิดมลพิษ และสามารถปกป้องชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์จากการปนเปื้อนทางเคมีได้อย่างมีประสิทธิภาพ