อลูมินา เอนด์ เอฟเฟคเตอร์

การเลือกใช้วัสดุสำหรับ Semicorex Alumina End Effector นั้นขับเคลื่อนด้วยความเหมาะสมเฉพาะตัวของอลูมินาเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูงสำหรับสภาพแวดล้อมที่รุนแรงที่พบในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์: 

ความบริสุทธิ์ที่ยอดเยี่ยมสำหรับการควบคุมการปนเปื้อน: Alumina End Effector ซึ่งมีเซรามิกอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นสารตั้งต้น โดดเด่นด้วยระดับสิ่งเจือปนที่ต่ำมาก ทำให้มั่นใจได้ว่าจะไม่นำสารปนเปื้อนที่อาจส่งผลต่อคุณสมบัติทางไฟฟ้าหรือประสิทธิภาพของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีความละเอียดอ่อน

ความเสถียรที่อุณหภูมิสูงเพื่อความคล่องตัวของกระบวนการ:Alumina End Effector มีความเสถียรทางความร้อนที่ดีเยี่ยม โดยรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างและความแม่นยำของขนาด แม้ในอุณหภูมิที่สูงขึ้นที่พบในกระบวนการต่างๆ เช่น การออกซิเดชันจากความร้อน การแพร่กระจาย และการสะสมไอสารเคมี

ความเฉื่อยของสารเคมีสำหรับสภาพแวดล้อมที่รุนแรง:ความต้านทานต่อสารเคมีโดยธรรมชาติของ Alumina End Effector ทำให้สามารถทนต่อกรด เบส และตัวทำละลายหลากหลายชนิดที่ใช้กันทั่วไปในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความเฉื่อยนี้ป้องกันการกัดกร่อนหรือการเสื่อมสภาพของเอฟเฟกต์ปลายทาง ทำให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพในระยะยาวและลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนของอนุภาคให้เหลือน้อยที่สุด

คุณสมบัติทางกลที่แข็งแกร่งเพื่ออายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น:เซรามิกอลูมินามีชื่อเสียงในด้านความแข็ง ความทนทานต่อการสึกหรอ และความสามารถในการทนต่อรอบการจัดการและการทำความสะอาดซ้ำๆ โดยไม่เสื่อมสภาพ ความทนทานนี้ส่งผลให้ Alumina End Effector มีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น ซึ่งช่วยลดต้นทุนการเปลี่ยนและเวลาหยุดทำงาน

ความแม่นยำ ความบริสุทธิ์ และความทนทานของ Alumina End Effector ทำให้เป็นส่วนประกอบสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญต่างๆ:

การพิมพ์หินด้วยแสง:การวางแนวและการวางแผ่นเวเฟอร์ที่แม่นยำเป็นสิ่งสำคัญยิ่งในการพิมพ์หินด้วยแสง ซึ่งการเบี่ยงเบนแม้เพียงเล็กน้อยก็อาจนำไปสู่ข้อผิดพลาดในการวางแนวที่ไม่ตรงและอุปกรณ์ขัดข้องได้ Alumina End Effector ให้ความแม่นยำและความเสถียรที่จำเป็นสำหรับขั้นตอนกระบวนการที่สำคัญนี้

การวางแผนทางกลเคมี (CMP):ความสามารถในการทนต่อสารเคมีเข้มข้นและแรงทางกลที่เกี่ยวข้องกับ CMP ทำให้ Alumina End Effector เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการจัดการเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการที่สำคัญนี้ ซึ่งจะวางแผนพื้นผิวเวเฟอร์สำหรับการแบ่งชั้นในภายหลัง

การตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์และมาตรวิทยา:ลักษณะที่ไม่ปนเปื้อนและไม่สร้างความเสียหายของ Alumina End Effector ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการจัดการเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการตรวจสอบและมาตรวิทยา ช่วยให้มั่นใจในการวัดที่แม่นยำและลดความเสี่ยงที่จะเกิดข้อบกพร่องให้เหลือน้อยที่สุด