แผ่นฐานการติดตั้งอลูมินา

แผ่นฐานการติดตั้งอลูมินา Semicorex เป็นผลิตภัณฑ์เซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งได้รับการออกแบบให้เป็นฐานที่ทนทานและมีเสถียรภาพสำหรับการติดตั้ง Chucks ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เพลตเหล่านี้ให้การสนับสนุนเชิงกลที่สำคัญและการจัดตำแหน่งสำหรับการดำเนินการประมวลผลเวเฟอร์เช่นการพิมพ์หินการแกะสลักการสะสมและการตรวจสอบ มันเป็นสิ่งสำคัญที่จะต้องจัดเรียงงานเชยกับส่วนประกอบระบบอื่น ๆ อย่างแม่นยำเพื่อให้แน่ใจว่าการประมวลผลเวเฟอร์สามารถเกิดขึ้นได้กับความซื่อสัตย์ที่จำเป็น เพลตผลิตผ่านเทคนิคการประมวลผลเฉพาะสำหรับเซรามิกเพื่อให้ได้ความเรียบที่จำเป็นความทนทานที่อุณหภูมิสูงและความน่าเชื่อถือในระยะยาวเพื่อตอบสนองความต้องการที่รุนแรงของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัยทั้งในกระบวนการและสภาพแวดล้อมที่สะอาด

แผ่นฐานการติดตั้งอลูมินา Semicorex ทำจากความบริสุทธิ์สูงอลูมินามีระดับความบริสุทธิ์≧ 99.5% (ทั่วไป) อลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงมีคุณสมบัติเชิงกลและความร้อนที่ดีรวมถึงความแข็ง อลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงมีคุณสมบัติฉนวนไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยมซึ่งช่วยให้แผ่นเหล่านี้ใช้ในการใช้งานสูญญากาศและแรงดันไฟฟ้าสูงซึ่งการรบกวนทางไฟฟ้าอาจเป็นปัญหา อลูมินาจะทนต่อการปั่นจักรยานด้วยความร้อนซึ่งช่วยให้แผ่นสามารถรักษาความแม่นยำในมิติที่ดีกว่าวัสดุส่วนใหญ่และเป็นประโยชน์ในการรักษาแนวหรือเสถียรภาพของโครงสร้างเนื่องจากการขยายตัวทางความร้อนลดลง ปัจจัยนี้มีความสำคัญในการรับรองความสามารถในการทำซ้ำของ Chuck และความคลาดเคลื่อนของกระบวนการโดยนัยในขณะที่ดำเนินการผ่านรอบการผลิตที่ขยายออกไป

ในระบบการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์แผ่นฐานยึดไม่ได้เป็นเพียงอุปกรณ์สำหรับการยึดเชิงกล มันเป็นสื่อกลางของการสัมผัสความร้อนระหว่างชัคและส่วนที่เหลือของอุปกรณ์และเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการกระจายความร้อนความสมบูรณ์ของโครงสร้างและการแยกการสั่นสะเทือน การดำเนินการประมวลผลเช่น (แต่ไม่ จำกัด เพียง) CVD, PVD หรือการปลูกถ่ายไอออนที่อุณหภูมิสูงและแรงดันสูญญากาศเป็นเรื่องธรรมดาต้องใช้ฐานการติดตั้งเพื่อให้ทนต่อความร้อน, เฉื่อยทางเคมีและทนต่อเสียงกลไกและทนต่อความร้อน ความเฉื่อยชาของสารเคมีมีความสำคัญเนื่องจากการติดตั้งจะต้องเข้ากันได้กับก๊าซปฏิกิริยาเช่นเดียวกับการทำความสะอาดเคมีขยายอายุการใช้งานที่มีประโยชน์ของภูเขาและป้องกันการปนเปื้อน

แผ่นฐานการติดตั้งอลูมินาทุกแผ่นที่ทำโดย Semicorex นั้นได้รับการกลึงกับความคลาดเคลื่อนที่เรียกร้องโดย OEM เซมิคอนดักเตอร์และผู้รวมอุปกรณ์ แผ่นมีการตัดเฉือนให้มีความคลาดเคลื่อนอย่างแน่นหนาสำหรับความหนาการเปลี่ยนแปลงความสูงและความเรียบเพื่อให้แน่ใจว่ามีความเสถียรและการทำซ้ำสูงสุด แผ่นติดตั้งเหล่านี้สามารถทำได้ด้วยรูติดตั้งช่องหรือเคาน์เตอร์ไปยังข้อกำหนดของลูกค้าเพื่อรองรับการทำงานที่ดีขึ้นขั้นตอนเชิงกลหรืออุปกรณ์อื่น ๆ เซรามิกอลูมินาถูกประมวลผลโดยใช้การเผาที่ทันสมัยและเทคนิคการบดที่แม่นยำเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพโครงสร้างจุลภาคและคุณภาพพื้นผิวที่สม่ำเสมอ

แผ่นฐานการติดตั้งอลูมินา Semicorex ใช้ในแอพพลิเคชั่นที่หลากหลายรวมถึงตัวจัดการเวเฟอร์ระบบถ่ายโอนหุ่นยนต์แอสเซมบลีชัคสูญญากาศและขั้นตอนการวัด ความน่าเชื่อถือและความทนทานนี้ในสถานการณ์ที่ต้องการความหลากหลายทำให้พวกเขาเป็นผลิตภัณฑ์ที่เลือกด้วยผู้ผลิตเครื่องมือที่กำลังมองหาส่วนประกอบเซรามิกการบำรุงรักษาต่ำที่ยาวนานและยาวนาน กลุ่มวิศวกรรมของเราเป็นพันธมิตรกับลูกค้าเพื่อจัดหาโซลูชันที่ไม่ซ้ำกันที่ระบุไว้สำหรับแต่ละแผ่นเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพสูงสุดสำหรับการผลิตในเซมิคอนดักเตอร์

แผ่นฐานการติดตั้งอลูมินาเป็นมากกว่าการสนับสนุนเชิงกล มันเป็นองค์ประกอบสำคัญในวิศวกรรมที่มีความแม่นยำในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเสถียรเชิงกลที่ยอดเยี่ยมความบริสุทธิ์และการกำหนดค่าทำให้มั่นใจได้ว่าการจัดตำแหน่งที่แม่นยำอายุการใช้งานที่ยาวนานและการทำงานที่เชื่อถือได้ในเครื่องมือกระบวนการที่หลากหลาย สำหรับแผ่นฐานการติดตั้งที่มีประสิทธิภาพสูงตอบสนองความคาดหวังสูงของผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในปัจจุบัน Trust Semicorex