แขนหุ่นยนต์อลูมินา

แขนหุ่นยนต์อลูมินา Semicorex เป็นส่วนเซรามิกประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับการจัดการเวเฟอร์และงานถ่ายโอนในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ทำจากอลูมินาเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูง (Al₂o₃) แขนหุ่นยนต์นี้มีความยืดหยุ่นความแม่นยำความน่าเชื่อถือและความทนทานในห้องทำความสะอาด

สิ่งที่โดดเด่นในความโปรดปรานของแขนหุ่นยนต์อลูมินาคือคุณสมบัติของอลูมินาเซรามิกความแข็งแรงและความแข็งของกลไก เช่นอลูมินาทำให้บริสุทธิ์มากขึ้นอลูมินารักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างที่ดีขึ้นและทำให้ทนต่อการสึกหรอและการเสียรูปได้มากขึ้น ในฐานะที่เป็นวัสดุอลูมินาเป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยมสำหรับชิ้นส่วนหุ่นยนต์ที่ใช้ในงานเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนและซ้ำ ๆ เช่นเมื่อแขนหุ่นยนต์ต้องการทำหน้าที่เดียวกันและติดต่อกับเวเฟอร์การบิดเบือนเล็กน้อยที่ใช้กับเวเฟอร์โดยแขนหุ่นยนต์ ความแข็งสูงเช่นพื้นผิวที่แข็งสามารถช่วยในการต่อต้านการขัดและชีวิตการทำงานเช่นการยืดอายุการใช้งานและระยะเวลาของการบริการ/ การเปลี่ยนบนส่วนประกอบหุ่นยนต์

นอกเหนือจากความทนทานเชิงกลแขนหุ่นยนต์อลูมินายังเป็นฉนวนไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยม ความต้านทานสูงถึง10⁵Ω·ซม. และความแข็งแรงของฉนวนสูงถึง 15 kV/มม. ที่อุณหภูมิห้องให้สภาพแวดล้อมที่ปลอดภัยกว่าในการทำงานโดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อสัญญาณไฟฟ้ารบกวนจะต้องลดลงในอุปกรณ์การประมวลผล สิ่งนี้จะกลายเป็นสิ่งสำคัญเมื่อปกป้องส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความละเอียดอ่อนการถ่ายโอนระหว่างกระบวนการที่มีความเสี่ยงน้อยที่สุดของความเสียหายที่เกิดจากไฟฟ้าสถิต (ESD)

เซรามิกอลูมินานั้นยอดเยี่ยมในการรักษาความมั่นคงในอุณหภูมิที่สูงมาก จุดหลอมเหลวอยู่ที่ประมาณ 2050 ° C และจะทนต่ออุณหภูมิสูงในการประมวลผลความร้อนเซมิคอนดักเตอร์โดยไม่ต้องแปรปรวนหรือมีความแม่นยำมิติ ความต้านทานความร้อนสูงช่วยให้แขนสามารถใช้ในกระบวนการต่าง ๆ เช่นการหลอมความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTA) หรือการสะสมไอสารเคมี (CVD) ซึ่งการจัดตำแหน่งที่แม่นยำและความเสถียรทางความร้อนเป็นสิ่งสำคัญ

หนึ่งในประโยชน์ที่สำคัญอื่น ๆ ของแขนหุ่นยนต์อลูมินาคือความเฉื่อย พื้นผิวของมันเฉื่อยสำหรับสารทำความสะอาดส่วนใหญ่และก๊าซกระบวนการที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ดังนั้นจึงจะยังคงปราศจากการปนเปื้อนและไม่สนับสนุนการปนเปื้อนของพื้นผิวเวเฟอร์ ความเฉื่อยทางเคมีนี้เป็นกุญแจสำคัญในการบรรลุเงื่อนไขการผลิตที่สะอาดเป็นพิเศษและให้ประสิทธิภาพของอุปกรณ์ที่สอดคล้องกัน

อลูมินาเซรามิกยังเป็นตัวเลือกที่เหมาะสมสำหรับเครื่องมือเซมิคอนดักเตอร์ มันพร้อมใช้งานเป็นวัตถุดิบและกระบวนการตัดเฉือนของเซรามิกอลูมินานั้นเป็นที่เข้าใจกันดีและปรับขนาดได้ง่าย สิ่งนี้ช่วยให้ความคลาดเคลื่อนที่ทำซ้ำได้และสอดคล้องกันสำหรับชิ้นส่วนคุณภาพสูงที่จะผลิตในราคาที่แข่งขันได้ การผสมผสานของประสิทธิภาพและความสามารถในการจ่ายทำให้แขนหุ่นยนต์อลูมินาเหมาะสำหรับ Fabs ของ OEM และเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งคุณต้องการส่วนประกอบระบบอัตโนมัติที่เชื่อถือได้ซึ่งไม่ทำลายธนาคาร

โดยสรุปแขนหุ่นยนต์อลูมินาให้ประสิทธิภาพเชิงกลสูงประสิทธิภาพอิเล็กทริกสูงความต้านทานความร้อนสูงประสิทธิภาพทางเคมีสูงทั้งหมดนี้มีความสามารถในการผลิตที่พิสูจน์แล้วในราคาประหยัด โดยรวมแล้วคุณลักษณะด้านประสิทธิภาพเหล่านี้ทำให้มันเชื่อถือได้และมีประสิทธิภาพสำหรับการใช้งานการจัดการเวเฟอร์ที่แม่นยำในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทำให้สามารถเพิ่มผลผลิตได้ลดความเสี่ยงต่อการปนเปื้อนและการปรับปรุงประสิทธิภาพของอุปกรณ์โดยรวม