แขนหุ่นยนต์อลูมินา Semicorex เป็นอุปกรณ์เสริมอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญซึ่งใช้สำหรับการวางตำแหน่งที่แม่นยำและการจัดการเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์หรือชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์อย่างมีประสิทธิภาพ แขนหุ่นยนต์อลูมินา Semicorex ผสมผสานความแข็งแรงเชิงกลที่ยอดเยี่ยม ความต้านทานการสึกหรอ ความต้านทานความร้อน และการกัดกร่อน สามารถทำงานได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ซับซ้อนซึ่งมีอุณหภูมิสูงและบรรยากาศที่มีฤทธิ์กัดกร่อน
โดยทั่วไปแขนหุ่นยนต์อลูมินา Semicorex จะถูกติดตั้งในหุ่นยนต์จับแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งทำหน้าที่เป็นตัวถ่ายโอนแผ่นเวเฟอร์เอฟเฟกต์ปลายที่ทำหน้าที่ถ่ายโอนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ไปยังตำแหน่งที่ต้องการอย่างปลอดภัยและแม่นยำ แขนหุ่นยนต์อลูมินาสามารถสร้างแรงดันลบคงที่เพื่อดูดซับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างแน่นหนาผ่านรูอากาศภายในและช่องแก๊ส วิธีการดูดซับนี้ทำให้ได้สัมผัสกับพื้นผิวเวเฟอร์อย่างอ่อนโยน ซึ่งป้องกันรอยขีดข่วนบนพื้นผิวที่ไม่พึงประสงค์และความเสียหายทางกลได้อย่างมีประสิทธิภาพ ดังนั้นจึงรับประกันการปกป้องรอบด้านสำหรับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์
Semicorex ดำเนินการควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวดสำหรับผลิตภัณฑ์ของตนโดยเริ่มจากการเลือกวัตถุดิบ
แขนหุ่นยนต์อลูมินาผลิตจากความบริสุทธิ์สูงอย่างแม่นยำอลูมินาผงแกรนูเลชั่นที่มีคุณสมบัติดีเยี่ยมดังนี้
แขนหุ่นยนต์อลูมินา Semicorex มีวัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูงและโครงสร้างจุลภาคที่มีความหนาแน่นสูง ซึ่งช่วยให้สามารถหลีกเลี่ยงการปล่อยไอออนของโลหะและการหลุดออกของอนุภาคขนาดเล็กในระหว่างการทำงาน จึงเป็นไปตามข้อกำหนดด้านความสะอาดที่เข้มงวดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างเต็มที่
ด้วยประสิทธิภาพของฉนวนไฟฟ้าที่สูง แขนหุ่นยนต์ Semicorex alumina จึงสามารถลดการสร้างประจุระหว่างการทำงานได้ ประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้นี้สามารถหลีกเลี่ยงค่าใช้จ่ายที่ไม่พึงประสงค์ที่ถ่ายโอนโดยแขนหุ่นยนต์อลูมินาไปยังส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ และลดความเสี่ยงต่อความเสียหายต่อส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความละเอียดอ่อน
แตกต่างจากแขนหุ่นยนต์ SiCแขนหุ่นยนต์อลูมินาเสนอราคาที่ประหยัดในขณะที่ยังคงประสิทธิภาพที่มั่นคง แขนหุ่นยนต์อลูมินา Semicorex มอบความแข็งแรงเชิงกลที่ยอดเยี่ยม ทนต่อการสึกหรอ ทนความร้อน และการกัดกร่อน ทำให้แขนหุ่นยนต์ทำงานได้อย่างมั่นคงภายใต้ภาระหนัก การทำงานที่ความถี่สูง อุณหภูมิสูง และสภาพการทำงานที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูงเป็นเวลานาน ความทนทานที่เหนือกว่านี้ช่วยยืดอายุการใช้งานของแขนหุ่นยนต์อลูมินาได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยลดประสิทธิภาพและต้นทุนในการเปลี่ยนส่วนประกอบ
แขนหุ่นยนต์อลูมินา Semicorex ถูกนำมาใช้อย่างกว้างขวางในส่วนหน้าของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงการกัด การสะสมฟิล์มบาง การฝังไอออน และกระบวนการ CMP สามารถรองรับ ถ่ายโอน และจัดตำแหน่งเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์และส่วนประกอบในห้องและอุปกรณ์กระบวนการต่างๆ ได้อย่างเสถียร ปลอดภัย และแม่นยำ ภายใต้สภาวะการทำงานแบบสุญญากาศและความสะอาดสูง