แผ่นขัดอลูมินาเวเฟอร์

เวเฟอร์อลูมินา Semicorex แผ่นขัดเป็นชิ้นส่วนกลึงที่มีความแม่นยำซึ่งทำจากอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยการกดแบบคงที่ การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตัดเฉือนที่มีความแม่นยำ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการขัดเงาที่มีความแม่นยำโดยมีข้อกำหนดที่เข้มงวดสำหรับความแม่นยำและประสิทธิภาพของพื้นผิวที่สูงเป็นพิเศษ โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการขัดแผ่นเวเฟอร์แบบเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากเซรามิกอลูมินามีคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมีที่ยอดเยี่ยม

---

อายุการใช้งานยาวนานเพื่อความทนทานต่อการสึกหรอที่ดีเยี่ยม

ความต้านทานการสึกหรอสูงเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับแผ่นขัดเวเฟอร์ที่ใช้ในการตัดเฉือนที่มีความแม่นยำสูง ความแข็ง Mohs ของอลูมินาเซรามิกอยู่ที่ประมาณ 9 รองจากเพชรและซิลิคอนคาร์ไบด์ ซึ่งช่วยให้แผ่นขัดเวเฟอร์ทนทานต่อสภาวะการทำงานที่มีแรงเสียดทานความเร็วสูงและงานสูงในระหว่างการขัดแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์โดยมีการสูญเสียการสึกหรอต่ำ ด้วยความทนทานต่อการสึกหรอที่ยอดเยี่ยม แผ่นขัดอลูมินาเวเฟอร์จึงมีอายุการใช้งานที่คงทน ช่วยลดความถี่ในการปิดอุปกรณ์เพื่อทดแทนและลดค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษาและเปลี่ยนทดแทนได้อย่างมาก

เสถียรภาพทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมและทนต่ออุณหภูมิสูง

อลูมินาแผ่นขัดเวเฟอร์สามารถรักษาคุณสมบัติทางกายภาพและประสิทธิภาพการเสียดสีได้ในระหว่างสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง 1,000 ℃ เนื่องจากมีเสถียรภาพทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมและทนต่ออุณหภูมิสูง เหมาะสำหรับสภาพการทำงานที่มีอุณหภูมิสูงซึ่งเกิดจากการเสียดสีบ่อยครั้ง หลีกเลี่ยงการเสียรูปเนื่องจากความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ และช่วยรักษาพื้นผิวขัดเงาให้คงที่

ทนต่อการกัดกร่อนของสารเคมีที่เชื่อถือได้

แผ่นขัดเวเฟอร์อลูมินามีคุณสมบัติต้านทานการกัดกร่อนของสารเคมีที่เชื่อถือได้ พวกเขาสามารถทนต่อกรดและด่างได้มากที่สุด เช่นเดียวกับสารละลายขัดเงาด้วยสารเคมีทั่วไปที่ใช้ในกระบวนการ CMP ความเรียบของพื้นผิวจะไม่ได้รับผลกระทบจากการกัดกร่อนของสารเคมี ซึ่งส่งผลต่อคุณภาพพื้นผิวของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

---

การใช้งานสำหรับแผ่นขัดเงาเวเฟอร์ Semicorex อลูมินา

1. การขัดเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

แผ่นขัดเวเฟอร์อลูมินาถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการเจียร การขัดหยาบ และการขัดขั้นสุดท้ายของซิลิกอน SiC แซฟไฟร์ และพื้นผิวเวเฟอร์ต่างๆ เนื่องจากความหยาบต่ำเป็นพิเศษและความเรียบของพื้นผิวระดับนาโน แผ่นขัดอลูมินาเวเฟอร์จึงสามารถตอบสนองความต้องการคุณภาพพื้นผิวที่แม่นยำของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง เช่น การแกะสลักและการพิมพ์หิน

2. การทำให้ผอมบางและการขัดขอบของเวเฟอร์

ในระหว่างกระบวนการทำให้แผ่นเวเฟอร์บางลง สามารถใช้แผ่นขัดอลูมินาเวเฟอร์เพื่อควบคุมความหนาของแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างแม่นยำ และขจัดวัสดุด้านหลังอย่างสม่ำเสมอ ในกระบวนการขัดขอบ แผ่นขัดอลูมินายังสามารถช่วยให้ได้คุณภาพขอบเวเฟอร์ที่เหมาะสมที่สุด โดยการกำจัดเสี้ยนและข้อบกพร่องที่ขอบเวเฟอร์