หัวจับเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์

หัวจับเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์คือโซลูชันที่ล้ำสมัยสำหรับการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อยึดแผ่นเวเฟอร์ให้เข้าที่อย่างแน่นหนาในระหว่างขั้นตอนการผลิตต่างๆ อุปกรณ์ที่เป็นนวัตกรรมใหม่นี้ทำหน้าที่เป็นหัวจับไฟฟ้าสถิต (ESC) โดยใช้ประโยชน์จากคุณสมบัติพิเศษของเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์ เพื่อให้มั่นใจถึงการกักเก็บแผ่นเวเฟอร์ที่แม่นยำและเชื่อถือได้

หัวจับเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์ Semicorex ใช้แรงไฟฟ้าสถิตเพื่อยึดแผ่นเวเฟอร์บนพื้นผิวอย่างแน่นหนา ซึ่งสามารถทำได้โดยผ่านแผ่นเพลทที่ออกแบบอย่างพิถีพิถันซึ่งมีอิเล็กโทรดในตัว ซึ่งมีอคติเชิงกลยุทธ์กับไฟฟ้าแรงสูง ผลที่ได้คือแรงยึดเหนี่ยวของไฟฟ้าสถิตจะเกิดขึ้นระหว่างแท่นวางและแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งจะทำให้เวเฟอร์ไม่สามารถเคลื่อนที่ได้อย่างมีประสิทธิภาพตลอดขั้นตอนการประมวลผล

หนึ่งในคุณสมบัติที่โดดเด่นของหัวจับเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์คือการผสมผสานที่โดดเด่นของคุณสมบัติการนำความร้อนและฉนวนสูง การผสมผสานลักษณะเฉพาะที่เป็นเอกลักษณ์นี้ทำให้เป็นตัวเลือกวัสดุในอุดมคติสำหรับการใช้งาน ESC ค่าการนำความร้อนสูงช่วยให้มั่นใจได้ถึงการกระจายความร้อนที่มีประสิทธิภาพ ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการรักษาการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์ในระหว่างการประมวลผล ในขณะเดียวกัน คุณสมบัติของฉนวนที่ยอดเยี่ยมทำให้มีการแยกทางไฟฟ้าระหว่างหัวจับและแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงของการรบกวนทางไฟฟ้าหรือความเสียหายต่อส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ที่ละเอียดอ่อน

หัวจับเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์มีข้อดีมากกว่าวัสดุหัวจับแบบดั้งเดิมหลายประการ โครงสร้างที่แข็งแกร่งช่วยให้มั่นใจได้ถึงความทนทานในระยะยาว สามารถทนต่อความต้องการอันเข้มงวดของสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้ นอกจากนี้ ความเข้ากันได้กับกระบวนการที่อุณหภูมิสูงและความต้านทานต่อการขยายตัวเนื่องจากความร้อน ทำให้เป็นเครื่องมือที่ขาดไม่ได้ในการบรรลุผลการประมวลผลเวเฟอร์ที่สม่ำเสมอและมีคุณภาพสูง