หัวจับไฟฟ้าสถิต E-Chuck

Semicorex Electrostatic Chuck E-Chuck ทำงานบนหลักการดึงดูดไฟฟ้าสถิต ให้การกักเก็บแผ่นเวเฟอร์ที่เชื่อถือได้และแม่นยำ โดยไม่ต้องใช้แคลมป์เชิงกลหรือการดูดสุญญากาศ โดยเฉพาะอย่างยิ่งใช้ในการกัด การกัดไอออน

antation, PVD, CVD ฯลฯ การประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ขนาดที่ปรับแต่งได้ทำให้สามารถปรับให้เข้ากับการใช้งานที่หลากหลาย ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับบริษัทที่ต้องการความยืดหยุ่นและประสิทธิภาพในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

เทคโนโลยีพื้นฐานที่อยู่เบื้องหลัง Electrostatic Chuck E-Chuck ประเภท J-R คือความสามารถในการสร้างแรงไฟฟ้าสถิตระหว่างแผ่นเวเฟอร์และพื้นผิวของหัวจับ แรงนี้ถูกสร้างขึ้นโดยการใช้ไฟฟ้าแรงสูงกับอิเล็กโทรดที่ฝังอยู่ภายในหัวจับ ซึ่งจะทำให้เกิดประจุบนแผ่นเวเฟอร์และหัวจับ ดังนั้นจึงสร้างพันธะไฟฟ้าสถิตที่แข็งแกร่ง กลไกนี้ไม่เพียงแต่ยึดแผ่นเวเฟอร์เข้าที่อย่างปลอดภัย แต่ยังลดการสัมผัสทางกายภาพระหว่างแผ่นเวเฟอร์และหัวจับให้เหลือน้อยที่สุด ซึ่งลดการปนเปื้อนที่อาจเกิดขึ้นหรือความเครียดเชิงกลที่อาจสร้างความเสียหายให้กับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความละเอียดอ่อน

Semicorex สามารถผลิตผลิตภัณฑ์แบบกำหนดเองได้ตั้งแต่ 200 มม. ถึง 300 มม. หรือใหญ่กว่านั้น ขึ้นอยู่กับความต้องการจากลูกค้า ด้วยการนำเสนอตัวเลือกที่ปรับแต่งได้เหล่านี้ ESC ประเภท J-R มอบความยืดหยุ่นสูงสุดสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์หลายประเภท รวมถึงการกัดพลาสมา การสะสมไอสารเคมี (CVD) การสะสมไอทางกายภาพ (PVD) และการฝังไอออน

ในแง่ของวัสดุ Electrostatic Chuck E-Chuck ผลิตจากวัสดุเซรามิกคุณภาพสูง เช่น อลูมินา (Al2O3) หรืออะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN) ซึ่งขึ้นชื่อในด้านคุณสมบัติไดอิเล็กทริก ความแข็งแรงเชิงกล และเสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยม เซรามิกเหล่านี้ช่วยให้หัวจับมีความทนทานที่จำเป็นในการทนต่อสภาวะที่รุนแรงของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น อุณหภูมิสูง สภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อน และการสัมผัสกับพลาสมา นอกจากนี้ พื้นผิวเซรามิกยังได้รับการขัดเงาให้มีความเรียบเนียนในระดับสูงเพื่อให้แน่ใจว่ามีการสัมผัสกับแผ่นเวเฟอร์อย่างสม่ำเสมอ ช่วยเพิ่มแรงไฟฟ้าสถิต และปรับปรุงประสิทธิภาพของกระบวนการโดยรวม

นอกจากนี้ E-Chuck ของหัวจับไฟฟ้าสถิตยังได้รับการออกแบบให้รับมือกับความท้าทายด้านความร้อนที่มักพบในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อีกด้วย การจัดการอุณหภูมิมีความสำคัญในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การกัดหรือการสะสม ซึ่งอุณหภูมิของแผ่นเวเฟอร์อาจผันผวนอย่างรวดเร็ว วัสดุเซรามิกที่ใช้ในหัวจับให้การนำความร้อนที่ดีเยี่ยม ช่วยกระจายความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพและรักษาอุณหภูมิเวเฟอร์ให้คงที่

Electrostatic Chuck E-Chuck ได้รับการออกแบบโดยเน้นไปที่การลดการปนเปื้อนของอนุภาคให้เหลือน้อยที่สุด ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งแม้แต่อนุภาคขนาดเล็กมากก็สามารถนำไปสู่ข้อบกพร่องในผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายได้ พื้นผิวเซรามิกเรียบของหัวจับช่วยลดโอกาสการเกาะติดของอนุภาค และการสัมผัสทางกายภาพระหว่างแผ่นเวเฟอร์และหัวจับที่ลดลง ต้องขอบคุณกลไกการยึดเกาะด้วยไฟฟ้าสถิต จึงช่วยลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนอีกด้วย ESC ประเภท J-R บางรุ่นยังรวมเอาการเคลือบพื้นผิวขั้นสูงหรือการบำบัดที่ขับไล่อนุภาคและต้านทานการกัดกร่อน ช่วยเพิ่มอายุการใช้งานและความน่าเชื่อถือของหัวจับในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด

โดยสรุป E-Chuck ประเภท J-R เป็นโซลูชันการจับยึดแผ่นเวเฟอร์อเนกประสงค์และเชื่อถือได้ ซึ่งให้ประสิทธิภาพที่โดดเด่นในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย การออกแบบที่ปรับแต่งได้ เทคโนโลยีการยึดเกาะด้วยไฟฟ้าสถิตขั้นสูง และคุณสมบัติของวัสดุที่แข็งแกร่ง ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับบริษัทที่ต้องการเพิ่มประสิทธิภาพการจัดการแผ่นเวเฟอร์ ขณะเดียวกันก็รักษามาตรฐานสูงสุดด้านความสะอาดและความแม่นยำ ไม่ว่าจะใช้ในการแกะสลักพลาสม่า การสะสม หรือการฝังไอออน ESC ประเภท J-R ให้ความยืดหยุ่น ความทนทาน และประสิทธิภาพที่จำเป็นในการตอบสนองความต้องการที่ต้องการของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในปัจจุบัน ด้วยความสามารถในการทำงานทั้งในโหมดคูลอมบ์และโหมด Johnsen-Rahbek รับมือกับอุณหภูมิสูง และต้านทานการปนเปื้อนของอนุภาค ESC ประเภท J-R ถือเป็นองค์ประกอบสำคัญในการแสวงหาผลผลิตที่สูงขึ้นและผลลัพธ์ของกระบวนการที่ดีขึ้น