หัวจับอลูมินาแบบมีร่องวงแหวน

หัวจับอลูมินาแบบร่องวงแหวน Semicorex ใช้โครงสร้างพื้นผิวที่ประกอบด้วยชุดร่องวงแหวนที่มีศูนย์กลางร่วมหลายชุด เมื่อเชื่อมต่อกับปั๊มสุญญากาศ ร่องเหล่านี้จะสร้างโซนแรงดันลบรูปวงแหวนเพื่อยึดเวเฟอร์และชิ้นงานบาง ๆ อย่างมั่นคงด้วยตำแหน่งที่แม่นยำ หัวจับอลูมินาแบบร่องวงแหวน Semicorex ทำงานได้ดีภายใต้สภาวะการทำงานที่ต้องการการจัดการความเรียบที่เข้มงวดและแรงดูดซับที่กระจายอย่างสม่ำเสมอ ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในการจับยึดแผ่นเวเฟอร์ การวางตำแหน่งการสัมผัส การกัดด้วยพลาสมา ตลอดจนการตรวจสอบและกระบวนการถ่ายโอนแผ่นเวเฟอร์

ข้อดีของหัวจับอลูมินาแบบมีร่องวงแหวน Semicorex

1. ทนต่ออุณหภูมิสูงได้ดีเยี่ยม

เซรามิกอลูมินาที่ประดิษฐ์ขึ้นโดยการเผาผนึกแบบความหนาแน่นแสดงประสิทธิภาพทางความร้อนที่น่าทึ่ง เนื่องจากคุณสมบัติของวัสดุนี้ หัวจับอลูมินาแบบร่องวงแหวน Semicorex จึงทำงานได้อย่างเสถียรภายใต้สภาพแวดล้อมการทำงานที่อุณหภูมิสูงจัด โดยไม่มีการเสียรูปของโครงสร้างและการเสื่อมประสิทธิภาพในการใช้งานในระยะยาว

2. แรงดูดซับสม่ำเสมอ

Semicorex ร่องวงแหวนหัวจับอลูมินามีร่องวงแหวนหลายอันบนพื้นผิวดูดซับ ซึ่งเกิดโซนสุญญากาศรูปวงแหวนที่มั่นคง การกำหนดค่านี้ช่วยให้แรงดูดซับสม่ำเสมอทั่วบริเวณหน้าสัมผัสแผ่นเวเฟอร์หลัก ซึ่งช่วยลดการเสียรูปและการบิดเบี้ยวของแผ่นเวเฟอร์บางส่วนได้อย่างมาก

3. ความเสถียรของโครงสร้างที่เหนือกว่าและความแม่นยำในการวางตำแหน่งซ้ำสูง

ด้วยความแข็งแกร่งของวัสดุที่เหนือกว่าและความเสถียรของโครงสร้าง หัวจับอลูมินาแบบร่องวงแหวน Semicorex สามารถรักษาความเรียบที่ดีเยี่ยมและความแม่นยำในการวางตำแหน่งที่สม่ำเสมอระหว่างการดำเนินการจับยึดสุญญากาศซ้ำๆ เป็นเวลานาน

4. ทนต่อการกัดกร่อนของสารเคมีได้ดี

เพราะการอลูมินาความเสถียรทางเคมีที่เชื่อถือได้ของหัวจับอลูมินาแบบร่องวงแหวน Semicorex มีความต้านทานที่โดดเด่นต่อสารที่เป็นกรดและด่างส่วนใหญ่ เช่นเดียวกับก๊าซในกระบวนการที่มีฤทธิ์กัดกร่อนต่างๆ และได้รับการปรับให้เข้ากับสภาวะการทำงานที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่ท้าทายอย่างมาก

5. ความสะอาดดีเยี่ยม

ด้วยการควบคุมความบริสุทธิ์ของวัสดุอย่างเข้มงวดและการบำบัดด้วยความหนาแน่น หัวจับอลูมินาแบบร่องวงแหวน Semicorex จึงแทบไม่มีการหลุดออกของอนุภาคหรือปล่อยสิ่งเจือปนออกมาในการปฏิบัติงาน ซึ่งเป็นไปตามมาตรฐานการปนเปื้อนต่ำที่เข้มงวดในห้องปลอดเชื้อของเซมิคอนดักเตอร์

ทำไมต้องเลือก Semicorex?

ในฐานะบริษัทชั้นนำในอุตสาหกรรมในประเทศจีน Semicorex ได้รับการสนับสนุนด้วยสายการผลิตแบบครบวงจรและทีมงานด้านเทคนิคที่มีประสบการณ์สูง เราสามารถให้การสนับสนุนด้านเทคนิคที่ปรับให้เหมาะสมและโซลูชันกระบวนการที่ปรับให้เหมาะสมแก่ลูกค้าของเรา และจัดหาการผลิตหัวจับอลูมินาแบบร่องวงแหวนที่ไม่ได้มาตรฐานตามต้องการแก่ลูกค้าของเราในด้านความบริสุทธิ์ของวัสดุ รูปร่างของหัวจับ ขนาด ความเรียบ ความคลาดเคลื่อน และข้อกำหนดอื่นๆ