ตัวรับแบบบาร์เรลเป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น LPE, MOCVD Semicorex ใช้ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงในชั้นบางๆ บนกราไฟท์โดยใช้กระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) ซึ่งทำให้เกรดเซมิคอนดักเตอร์ mterial มีเสถียรภาพทางความร้อน ทนต่อสารเคมี และทนต่อการสึกหรอได้ดีเยี่ยม ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานในสภาวะที่มีอุณหภูมิสูง กระบวนการอุณหภูมิ
● กราไฟท์เคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง
● ทนความร้อนและทนต่อสารเคมีได้ดีเยี่ยม
● ความสม่ำเสมอของความร้อนสูง
● ทนต่อการสึกหรอได้ดีเยี่ยม
ตัวรับถังเคลือบ Semicorex SiC สำหรับ Wafer Epitaxis เป็นตัวเลือกที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานการเติบโตของผลึกเดี่ยว เนื่องจากมีพื้นผิวเรียบเป็นพิเศษและการเคลือบ SiC คุณภาพสูง จุดหลอมเหลวสูง ความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชัน และความต้านทานการกัดกร่อน ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามบาร์เรลเครื่องปฏิกรณ์แบบอีปิแอกเชียลแบบเคลือบ Semicorex SiC เป็นผลิตภัณฑ์กราไฟท์คุณภาพสูงที่เคลือบด้วย SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง ความหนาแน่นและการนำความร้อนที่ดีเยี่ยมทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับใช้ในกระบวนการ LPE โดยให้การกระจายความร้อนและการป้องกันที่ยอดเยี่ยมในสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและมีอุณหภูมิสูง
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามตัวรับถังปฏิกรณ์เคลือบ Semicorex คาร์ไบด์เป็นผลิตภัณฑ์กราไฟท์คุณภาพระดับพรีเมียมที่เคลือบด้วย SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการ LPE ด้วยความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนที่ดีเยี่ยม ผลิตภัณฑ์นี้จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามกระบอก SiC-Coated Susceptor Chamber ของ Semicorex สำหรับห้องปฏิกรณ์แบบอีปิแอกเซียลเป็นโซลูชันที่เชื่อถือได้สูงสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดดเด่นด้วยคุณสมบัติการกระจายความร้อนและการนำความร้อนที่เหนือกว่า นอกจากนี้ยังมีความทนทานต่อการกัดกร่อน ออกซิเดชั่น และอุณหภูมิสูงอีกด้วย
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor เป็นผลิตภัณฑ์กราไฟท์คุณภาพสูงที่เคลือบด้วย SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนเป็นพิเศษ ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการใช้งาน LPE ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามการเคลือบ Semicorex SiC EPI 3 1/4" Barrel Susceptor ให้ความเสถียรทางความร้อนที่ดีเยี่ยมและต้านทานการโจมตีทางเคมี ในขณะที่ซับสเตรตกราไฟท์มีคุณสมบัติการถ่ายเทความร้อนที่เหนือกว่า
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม