หัวฉีดเซรามิกที่ปรับแต่งได้

หัวฉีดเซรามิกที่ปรับแต่งได้เป็นส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญที่ใช้ในการเชื่อมต่อภายในและภายนอกห้องปฏิกิริยาในกระบวนการ HDP-CVD หัวฉีดเซรามิกที่ปรับแต่งได้ที่ผ่านการประมวลผลอย่างแม่นยำช่วยเพิ่มการควบคุมอัตราการไหลของก๊าซในกระบวนการอย่างแม่นยำ ลดความปั่นป่วนที่อาจเกิดขึ้น และช่วยในการสร้างสภาพแวดล้อมการสะท้อนที่สม่ำเสมอและมีเสถียรภาพมากขึ้น

Semicorex ใช้เทคโนโลยีการควบคุมเชิงตัวเลขเพื่อให้ได้การประมวลผลหัวฉีดเซรามิกที่มีความแม่นยำสูงและมีประสิทธิภาพสูง เทคโนโลยีการประมวลผลทางกลที่แม่นยำจะควบคุมความคลาดเคลื่อนมิติของเส้นผ่านศูนย์กลางด้านใน เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก และความยาวของหัวฉีดเซรามิกภายในช่วงมาตรฐานอย่างเคร่งครัด ทำให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอในระดับสูงในรูปร่างและขนาดของหัวฉีด ซึ่งจะช่วยเพิ่มความสม่ำเสมอและความเสถียรของสเปรย์ในการทำงานจริงอย่างมาก

การรักษาพื้นผิวขั้นสูงสุดทำให้หัวฉีดเซรามิกที่ปรับแต่งได้มีพื้นผิวเรียบและเรียบและขนาดรูพรุนปราศจากรอยแตก รูพรุน สิ่งเจือปน และข้อบกพร่องอื่นๆ ลดการรั่วไหลของของเหลวหรือการผสมสิ่งเจือปนในระดับสูงสุด กระบวนการปรับสภาพพื้นผิวขั้นสูงสุดทำให้หัวฉีดเซรามิกที่ปรับแต่งได้มีพื้นผิวเรียบและเรียบปราศจากรอยแตก รูพรุน สิ่งเจือปน และข้อบกพร่องอื่นๆ ช่วยลดการรั่วไหลของของไหลหรือสิ่งเจือปนที่ปะปนกันในระดับสูงสุด หัวฉีดเซรามิกที่ปรับแต่งได้ซึ่งผ่านการบำบัดทำความสะอาดเป็นพิเศษนั้นปราศจากการปนเปื้อนของอนุภาคและมีความสะอาดระดับเซมิคอนดักเตอร์ ทำให้มั่นใจได้ว่าลูกค้าจะได้ผลลัพธ์การสะสมฟิล์มคุณภาพสูงที่สม่ำเสมอและปราศจากการปนเปื้อน

โครงสร้างรูรับแสงและรูปทรงของหัวฉีดเซรามิกแบบกำหนดเองนี้ได้รับการออกแบบและเพิ่มประสิทธิภาพทางวิทยาศาสตร์ ช่วยให้สามารถควบคุมการไหลของก๊าซได้อย่างแม่นยำ การออกแบบนี้ไม่เพียงส่งผลโดยตรงต่อความสม่ำเสมอและการควบคุมความหนาของฟิล์ม แต่ยังช่วยลดข้อบกพร่องต่างๆ ในชั้นที่สะสมได้อย่างมีประสิทธิภาพ ให้การรับประกันที่เชื่อถือได้สำหรับกระบวนการผลิตการสะสมฟิล์มที่เกี่ยวข้อง

ทีมงานด้านเทคนิคของ Semicorex สามารถให้ความร่วมมือทางเทคนิคเต็มรูปแบบตั้งแต่การเลือกวัสดุไปจนถึงหัวฉีดเซรามิก การฉีดความเสถียรสูง อายุการใช้งานที่ยาวนาน และกำลังหลักในการบำรุงรักษาต่ำเข้าสู่กระบวนการผลิตของคุณ เพื่อตอบสนองความต้องการที่แตกต่างของสภาพการทำงานที่หลากหลาย Semicorex คัดสรรวัสดุประสิทธิภาพสูงสามชนิดอย่างรอบคอบ —ซิลิคอนคาร์ไบด์, อลูมินาและเซอร์โคเนีย— เพื่อให้ตรงกับความต้องการทางเทคนิคของคุณอย่างแม่นยำ เรายอมรับบริการที่ปรับแต่งตามแบบที่ให้มา ไม่ว่าจะเป็นโครงร่าง พิกัดความเผื่อของขนาด หรือพารามิเตอร์รูรับแสงที่เกี่ยวข้องกับฟังก์ชันหลัก (รวมถึงขนาดรูรับแสง การออกแบบประเภทของรู ผนังด้านใน และรายละเอียดอื่นๆ) ทีมเทคนิคของเราสามารถปรับแต่งหัวฉีดเซรามิกแบบกำหนดเองให้เหมาะกับสภาพการทำงานของคุณ