เอสซี ชัค

Semicorex ESC Chuck ใช้แรงไฟฟ้าสถิตเพื่อรักษาการควบคุมตำแหน่งของเวเฟอร์อย่างแม่นยำ ทำให้มั่นใจได้ถึงความแม่นยำสูงและความสามารถในการทำซ้ำในสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การออกแบบหัวจับ ESC ควบคู่ไปกับการเลือกวัสดุที่แข็งแกร่งและขนาดที่ปรับแต่งได้ ทำให้เป็นเครื่องมืออเนกประสงค์และจำเป็นในกระบวนการต่างๆ เช่น การกัด การสะสม และการฝังไอออน

หัวจับ ESC ทำงานโดยการใช้สนามไฟฟ้าสถิตแรงดันสูงระหว่างอิเล็กโทรดของหัวจับกับแผ่นเวเฟอร์ ทำให้เกิดแรงดึงดูดที่ยึดแผ่นเวเฟอร์ให้อยู่กับที่ แผ่นเวเฟอร์ซึ่งโดยทั่วไปแล้วทำจากซิลิคอนหรือซิลิคอนคาร์ไบด์นั้นได้รับแรงยึดนี้ ทำให้สามารถทำงานได้อย่างแม่นยำในสภาพแวดล้อมที่มีสุญญากาศสูง ระบบนี้ไม่จำเป็นต้องจับยึดเชิงกลหรือจับยึดสุญญากาศ ซึ่งอาจทำให้เกิดสิ่งปนเปื้อนหรือทำให้แผ่นเวเฟอร์บิดเบี้ยวได้ ด้วยการใช้หัวจับ ESC ผู้ผลิตสามารถบรรลุสภาพแวดล้อมที่สะอาดกว่าและมีเสถียรภาพมากขึ้นสำหรับกระบวนการผลิตที่ละเอียดอ่อน ซึ่งนำไปสู่ผลผลิตที่สูงขึ้นและผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอมากขึ้น

ข้อดีที่สำคัญอย่างหนึ่งของเทคโนโลยี ESC คือความสามารถในการยึดเกาะแผ่นเวเฟอร์อย่างมั่นคง ขณะเดียวกันก็กระจายแรงอย่างสม่ำเสมอบนพื้นผิว เพื่อให้แน่ใจว่าแผ่นเวเฟอร์ยังคงเรียบและมั่นคง ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการกัดหรือการสะสมที่สม่ำเสมอ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในกระบวนการที่ต้องใช้ความแม่นยำในระดับซับไมครอน ขนาดที่ปรับแต่งได้ของหัวจับ ESC ช่วยให้สามารถรองรับเวเฟอร์ที่มีขนาดแตกต่างกัน ตั้งแต่เวเฟอร์มาตรฐาน 200 มม. และ 300 มม. ไปจนถึงขนาดพิเศษที่ไม่ได้มาตรฐานที่ใช้ในการวิจัยและพัฒนาหรือในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เฉพาะกลุ่ม

วัสดุที่ใช้ในการก่อสร้างหัวจับ ESC ได้รับการคัดสรรมาอย่างดีเพื่อให้มั่นใจว่าสามารถเข้ากันได้กับสภาพแวดล้อมที่รุนแรงซึ่งมักพบในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ มีการใช้อลูมินาเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูงเนื่องจากมีคุณสมบัติเป็นฉนวนไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม มีความเสถียรทางความร้อน และทนทานต่อการกัดกร่อนของพลาสมา คุณสมบัติเหล่านี้ช่วยให้หัวจับทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพทั้งในสภาวะอุณหภูมิสูงและสุญญากาศสูง ให้ความทนทานและความน่าเชื่อถือที่จำเป็นสำหรับการใช้งานระยะยาวในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด

การปรับแต่งเป็นข้อดีที่สำคัญอีกประการหนึ่งของหัวจับ ESC ขึ้นอยู่กับข้อกำหนดเฉพาะของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ขนาดของหัวจับ การกำหนดค่าอิเล็กโทรด และองค์ประกอบของวัสดุสามารถปรับแต่งให้ตรงกับความต้องการเฉพาะของอุปกรณ์และเวเฟอร์ที่กำลังดำเนินการได้ ไม่ว่าการใช้งานจะเกี่ยวข้องกับการกัดด้วยพลาสมา การสะสมไอสารเคมี (CVD) หรือการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) สามารถออกแบบหัวจับ ESC เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการทำงานและรักษาความสมบูรณ์ของเวเฟอร์ในระหว่างการประมวลผลได้