MOCVD จานยึดดาวเทียม

แผ่นยึดดาวเทียม Semicorex MOCVD เป็นพาหะที่โดดเด่นซึ่งออกแบบมาเพื่อใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม และแม้กระทั่งโปรไฟล์ด้านความร้อน ทำให้ผลิตภัณฑ์นี้เป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยมสำหรับผู้ที่มองหาตัวพาที่สามารถทนต่อความต้องการของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เรามุ่งมั่นที่จะมอบผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงที่ตรงตามความต้องการเฉพาะของลูกค้า ติดต่อเราวันนี้เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับแผ่นยึดดาวเทียม MOCVD และวิธีที่เราสามารถช่วยเหลือคุณตามความต้องการในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของคุณ

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

Semicorex MOCVD Satellite Holder Plate เป็นพาหะคุณภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตภัณฑ์ของเราเคลือบด้วยกราไฟท์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ทำให้ทนทานต่อการเกิดออกซิเดชันได้สูงที่อุณหภูมิสูงถึง 1600°C กระบวนการสะสมไอสารเคมี CVD ที่ใช้ในการผลิตทำให้มั่นใจในความบริสุทธิ์สูงและทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม ทำให้เหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด
คุณสมบัติของแผ่นยึดดาวเทียม MOCVD ของเรานั้นน่าประทับใจ พื้นผิวที่หนาแน่นและอนุภาคละเอียดช่วยเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อน ทำให้ทนทานต่อกรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์ ตัวพานี้มีความเสถียรสูง แม้ในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง ทำให้เป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยมสำหรับผู้ที่มองหาตัวพาที่สามารถทนต่อความต้องการของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

พารามิเตอร์ของแผ่นยึดดาวเทียม MOCVD

ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC
คุณสมบัติ SiC-CVD
โครงสร้างคริสตัล	เฟส FCC β
ความหนาแน่น	กรัม/ซม. ³	3.21
ความแข็ง	ความแข็งของวิคเกอร์	2500
ขนาดเกรน	ไมโครเมตร	2~10
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	%	99.99995
ความจุความร้อน	เจ กก-1 K-1	640
อุณหภูมิระเหิด	℃	2700
ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์	MPa (RT 4 จุด)	415
โมดูลัสของยัง	เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C)	430
การขยายความร้อน (C.T.E)	10-6K-1	4.5
การนำความร้อน	(W/mK)	300

คุณลักษณะของตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiC สำหรับ MOCVD

- หลีกเลี่ยงการลอกออกและเคลือบให้ทั่วทุกพื้นผิว
ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง: เสถียรที่อุณหภูมิสูงถึง 1600°C
ความบริสุทธิ์สูง: เกิดจากการสะสมไอสารเคมี CVD ภายใต้สภาวะคลอรีนที่อุณหภูมิสูง
ความต้านทานการกัดกร่อน: ความแข็งสูง พื้นผิวหนาแน่น และอนุภาคละเอียด
ความต้านทานการกัดกร่อน: กรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์
- บรรลุรูปแบบการไหลของก๊าซแบบลามินาร์ที่ดีที่สุด
- รับประกันความสม่ำเสมอของโปรไฟล์ความร้อน
- ป้องกันการปนเปื้อนหรือการแพร่กระจายของสิ่งสกปรก