เครื่องทำความร้อนคอมโพสิต PBN

Semicorex PBN คอมโพสิตเครื่องทำความร้อนรวมค่าการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมของกราไฟท์ไพโรไลติกกับความเฉื่อยทางเคมีและฉนวนไฟฟ้าของไพโรไลติกโบรอนไนไตรด์ เครื่องทำความร้อนเหล่านี้สร้างขึ้นจากกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและ PBN ที่ใช้โดยใช้กระบวนการ CVD ที่มีคุณภาพสูง (การสะสมไอสารเคมี) ภายใต้สภาวะการสะสมความบริสุทธิ์สูง แต่ละชั้นความสำเร็จของแต่ละบุคคลได้รับการฝากด้วยความสามารถในการควบคุมที่รุนแรงมากเพื่อให้แน่ใจว่ามีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษและคุณสมบัติความร้อนที่สอดคล้องกัน แกนกราไฟท์ซึ่งให้ความร้อนอย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอตลอดนั้นได้รับการปกป้องจากการออกซิเดชั่นและการปนเปื้อนโดยแคปซูล PBN สิ่งนี้ทำให้เครื่องทำความร้อนเหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมก๊าซสูญญากาศและสภาพแวดล้อมก๊าซเฉื่อย เครื่องทำความร้อน PBN เหล่านี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อใช้ในเครื่องปฏิกรณ์ MBE (Molecular Beam Epitaxy) เครื่องปฏิกรณ์ CVD และระบบการเจริญเติบโตของคริสตัลอื่น ๆ

ฮีตเตอร์คอมโพสิตคอมโพสิต (PBN-PG) ของ pyrolytic เป็นเครื่องทำความร้อนที่ใช้ PBN ที่มีฉนวนสูงเป็นสารตั้งต้นและใช้การสลายตัวของการสลายตัวของสารเคมีความร้อนด้วยแรงดันต่ำ (CVD) ที่ความดันต่ำ ส่วนประกอบหลักของฮีตเตอร์คอมโพสิตนี้คือ pyrolytic boron nitride (PBN) และ pyrolytic graphite (PG) เนื่องจากความต้านทานการกัดกร่อนที่ยอดเยี่ยมและความต้านทานอุณหภูมิสูงจึงใช้เป็นหลักสำหรับการให้ความร้อนจากสารกึ่งตัวนำ (ใช้ใน MBE, MOCVD, การเคลือบสปัตเตอร์ ฯลฯ ); ความร้อนของสารตั้งต้น SuperConductor; ตัวอย่างความร้อนในระหว่างการวิเคราะห์ตัวอย่าง กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนตัวอย่างความร้อน; เครื่องทำความร้อนโลหะ แหล่งความร้อนระเหยของโลหะ ฯลฯ

เครื่องทำความร้อน PBN สามารถทนต่ออุณหภูมิการทำงานได้สูงถึง 1600 ° C ในสูญญากาศและมีความสามารถที่ดีขึ้นในการทนต่อการกระแทกความร้อนเหนือทางเลือกที่ใช้โลหะใด ๆ ที่คุณต้องพึ่งพา พื้นผิวของเครื่องทำความร้อนนั้นราบรื่นและหนาแน่นมากและสร้างอนุภาคน้อยลงอย่างมีนัยสำคัญในระหว่างการทำงานซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการใช้งานที่ไม่สามารถทนต่อการปนเปื้อนได้เช่นการประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

โครงสร้างคอมโพสิตให้ความสม่ำเสมอของความร้อนที่ยอดเยี่ยมทั่วพื้นผิวเครื่องทำความร้อนและเส้นทางต้านทานสามารถปรับแต่งได้เพื่อให้สามารถกระจายความร้อนที่ปรับแต่งได้ การออกแบบนี้ช่วยให้วัฏจักรทางลาดขึ้นอย่างรวดเร็วและคูลดาวน์ในระหว่างการประมวลผลโดยไม่ต้องแตกร้าวและการแยกแยะเนื่องจากค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนเดียวกันของวัสดุที่ใช้ อิเล็กโทรดมีความสามารถในการทนต่อการทำงานของกระแสสูงอย่างต่อเนื่องและยังเข้ากันได้ในสูญญากาศ

Semicorex ให้ความยืดหยุ่นในการออกแบบไม่ จำกัด สำหรับรูปร่างขนาดและความต้องการพลังงานที่ไม่ซ้ำกันเมื่อจำเป็นเพื่อตอบสนองความต้องการของแอปพลิเคชันที่เฉพาะเจาะจง ไม่ว่าจะเป็นขนาดเวเฟอร์มาตรฐานหรือรูปทรงที่ซับซ้อนมากขึ้นเรารับประกันความแม่นยำของมิติและความสม่ำเสมอของความร้อนในทุกหน่วยที่ผลิต

เครื่องทำความร้อนคอมโพสิต PBN เหมาะสำหรับการใช้งานที่สะอาดเป็นพิเศษรวมถึง:

• ระบบ MBE สำหรับการประมวลผลสารประกอบเซมิคอนดักเตอร์สารประกอบ III-V และ II-VI
• ระบบเคลือบสูญญากาศสำหรับส่วนประกอบออปติคัล
• ระบบการเจริญเติบโตของคริสตัลสำหรับแซฟไฟร์และ SIC
• การประมวลผลความร้อนที่มีความสุขสูงสำหรับสภาพแวดล้อมการวิจัยและการพัฒนาห้องปฏิบัติการ