เครื่องทำความร้อน Semicorex PBN นำเสนอประสิทธิภาพที่สะอาดและอุณหภูมิสูงเหมาะสำหรับเซมิคอนดักเตอร์การเจริญเติบโตของคริสตัลและการใช้งานสุญญากาศ เลือก Semicorex สำหรับความบริสุทธิ์ของวัสดุความแม่นยำทางวิศวกรรมและการจัดส่งที่เชื่อถือได้ที่เชื่อถือได้โดยผู้ผลิตชั้นนำระดับโลก*
เครื่องทำความร้อน Semicorex Pyrolytic Boron Nitride PBN เป็นส่วนประกอบความร้อนที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับการใช้งานที่ต้องการการใช้งานที่มีความจำเป็นอย่างยิ่ง ผลิตผ่านกระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) PBN แสดงการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมความต้านทานอุณหภูมิสูงและความเฉื่อยทางเคมีที่โดดเด่นทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์การเจริญเติบโตของคริสตัลและการใช้สูญญากาศ
เครื่องทำความร้อน PBN เป็นเครื่องทำความร้อนที่ใช้ PBN ที่เป็นฉนวนสูงเป็นสารตั้งต้นและใช้การสลายตัวของการสลายตัวของไอน้ำความร้อนแรงดันต่ำ (CVD) เพื่อเคลือบ PG นำไฟฟ้าที่ความดันต่ำ (ต่ำกว่า 10Torr) และอุณหภูมิสูง ส่วนประกอบหลักของฮีตเตอร์คอมโพสิตนี้คือ pyrolytic boron nitride (PBN) และ pyrolytic graphite (PG) เนื่องจากความต้านทานการกัดกร่อนที่ยอดเยี่ยมและความต้านทานอุณหภูมิสูงจึงใช้เป็นหลักสำหรับการให้ความร้อนจากสารกึ่งตัวนำ (ใช้ใน MBE, MOCVD, การเคลือบสปัตเตอร์ ฯลฯ ); ความร้อนของสารตั้งต้น SuperConductor; ตัวอย่างความร้อนในระหว่างการวิเคราะห์ตัวอย่าง กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนตัวอย่างความร้อน; เครื่องทำความร้อนโลหะ แหล่งความร้อนระเหยของโลหะ ฯลฯ
PBN นั้นเฉื่อยต่อก๊าซกัดกร่อน มีความบริสุทธิ์สูง (มากกว่า 99.99%); ไม่เปียกหรือทำปฏิกิริยากับโลหะที่หลอมเหลวส่วนใหญ่ (มีลักษณะของกระทะที่ไม่ติดและสามารถใช้โลหะได้ 100%) มีความต้านทานอุณหภูมิสูงที่ดี (อุณหภูมิการทำงานสูงสุดคือ 2000 ℃); ความหนาแน่นดี ความต้านทานการกระแทกด้วยความร้อนที่ดีและคุณสมบัติที่ยอดเยี่ยมอื่น ๆ ทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการเตรียมเครื่องทำความร้อนคอมโพสิต PBN-PG PG สามารถให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็วถึง 1,600 ℃ (ในบรรยากาศเฉื่อยและภายใต้สุญญากาศ) ในเครื่องทำความร้อน PBN ในเวลาเดียวกันเมื่อรวมกับการนำความร้อนที่ดีของ PBN พื้นผิวความร้อนมีความสม่ำเสมอของความร้อนที่ดี ด้วยการพัฒนาอย่างรวดเร็วของอุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้องความต้องการเครื่องทำความร้อนคอมโพสิต PBN-PG ก็เพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็วเช่นกัน
เครื่องทำความร้อน PBN สามารถประดิษฐ์ได้ในรูปทรงและการกำหนดค่าที่หลากหลายเพื่อตอบสนองความต้องการการออกแบบและการรวมที่เฉพาะเจาะจง การออกแบบทั่วไป ได้แก่ เครื่องทำความร้อนระนาบเครื่องทำความร้อนแบบท่อและรูปทรงเรขาคณิตที่กำหนดเองด้วยองค์ประกอบความร้อนแบบฝังหรือติดตั้งบนพื้นผิว องค์ประกอบความร้อนมักจะทำจาก pyrolytic graphite (PG) และห่อหุ้มใน PBN ให้การปิดผนึกอย่างสมบูรณ์, ฉนวนไฟฟ้าและโครงสร้างที่มีประสิทธิภาพทางความร้อน