ดิสก์ดาวเคราะห์

Planetary Disk เป็นแผ่นเวเฟอร์พาหะและตัวรับที่ปฏิวัติวงการ ออกแบบมาสำหรับกระบวนการ Molecular Beam Epitaxy (MBE) ภายในเตาหลอมโลหะและอินทรีย์เคมี (MOCVD) Planetary Disk สร้างขึ้นจากวัสดุคุณภาพสูง ได้รับการออกแบบมาเพื่อยกระดับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของคุณให้สูงขึ้นไปอีกขั้น

Planetary Disk สร้างขึ้นอย่างพิถีพิถันจากกราไฟท์เคลือบ CVD SiC ทำให้มั่นใจได้ถึงเสถียรภาพทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม ความบริสุทธิ์สูง และทนต่ออุณหภูมิที่สูงมาก องค์ประกอบของวัสดุขั้นสูงนี้รับประกันประสิทธิภาพที่เหนือกว่าและอายุการใช้งานที่ยาวนานในสภาพแวดล้อม MOCVD ที่มีความต้องการสูง

การเคลือบ CVD SiC บนซับสเตรตกราไฟท์ช่วยเพิ่มการนำความร้อน ส่งเสริมการถ่ายเทความร้อนอย่างมีประสิทธิภาพในระหว่างกระบวนการ MOCVD คุณลักษณะนี้ไม่เพียงแต่รับประกันโปรไฟล์อุณหภูมิที่สม่ำเสมอทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์ แต่ยังช่วยลดความเครียดจากความร้อนและเพิ่มผลผลิตโดยรวมอีกด้วย

Planetary Disk ได้รับการปรับแต่ง ซึ่งเข้ากันได้กับขนาดเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย ทำให้เป็นโซลูชั่นอเนกประสงค์สำหรับความต้องการในการผลิตที่หลากหลาย Planetary Disk สร้างขึ้นเพื่อทนทานต่อความต้องการอันเข้มงวดของเตาเผา MOCVD มีความทนทานและความน่าเชื่อถือเป็นพิเศษ โครงสร้างที่แข็งแกร่งช่วยให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่ยาวนาน ลดการหยุดทำงานและต้นทุนการบำรุงรักษาที่เกี่ยวข้องกับตัวพาและตัวรับเวเฟอร์