สินค้า

แผ่นพาหะ RTP เคลือบ Semicorex SiC สำหรับการเติบโตแบบอีปิแอกเซียลเป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ด้วยตัวรับกราไฟท์คาร์บอนคุณภาพสูงและถ้วยใส่ตัวอย่างควอตซ์ที่ประมวลผลโดย MOCVD บนพื้นผิวของกราไฟท์ เซรามิก ฯลฯ ผลิตภัณฑ์นี้จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการจัดการแผ่นเวเฟอร์และการประมวลผลการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว ตัวพาเคลือบ SiC ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการนำความร้อนสูงและคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม ทำให้เป็นตัวเลือกที่เชื่อถือได้สำหรับการทำความสะอาด RTA, RTP หรือสารเคมีที่รุนแรง

Semicorex เป็นผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ขนาดใหญ่ของตัวรับกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ในประเทศจีน ตัวรับกราไฟท์ Semicorex ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับอุปกรณ์ epitaxy ที่มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูงในประเทศจีน สารขนส่งเคลือบ SiC RTP RTA ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ

ส่วนประกอบ ICP ที่เคลือบ SiC ของ Semicorex ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการจัดการเวเฟอร์ที่มีอุณหภูมิสูง เช่น epitaxy และ MOCVD ด้วยการเคลือบคริสตัล SiC อย่างดี ตัวพาของเราจึงต้านทานความร้อนได้เหนือกว่า ความสม่ำเสมอของความร้อน และทนทานต่อสารเคมีที่ทนทาน

เมื่อพูดถึงกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น epitaxy และ MOCVD การเคลือบ SiC อุณหภูมิสูงของ Semicorex สำหรับ Plasma Etch Chambers เป็นตัวเลือกอันดับต้นๆ ตัวพาของเราให้การต้านทานความร้อนที่เหนือกว่า ความสม่ำเสมอของความร้อน และความทนทานต่อสารเคมีที่ทนทานด้วยการเคลือบคริสตัล SiC ละเอียดของเรา

เพลต SiC ของ Semicorex สำหรับกระบวนการแกะสลัก ICP เป็นโซลูชันที่สมบูรณ์แบบสำหรับข้อกำหนดการประมวลผลทางเคมีที่มีอุณหภูมิสูงและรุนแรงในการสะสมฟิล์มบางและการจัดการแผ่นเวเฟอร์ ผลิตภัณฑ์ของเรามีความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและมีความสม่ำเสมอทางความร้อน ทำให้มั่นใจได้ถึงความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ ด้วยพื้นผิวที่สะอาดและเรียบเนียน การเคลือบคริสตัล SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงของเราจึงมอบการจัดการที่เหมาะสมที่สุดสำหรับเวเฟอร์ที่บริสุทธิ์

สารกัดกร่อน ICP แบบเคลือบ Semicorex SiC ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับอุปกรณ์ epitaxy ที่มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูงในประเทศจีน ผลิตภัณฑ์ของเรามีความได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน