แผ่นพาหะ RTP ที่เคลือบด้วย SiC สำหรับการเจริญเติบโตแบบอีพิแอกเซียล

แผ่นพาหะ RTP เคลือบ Semicorex SiC สำหรับการเติบโตแบบอีปิแอกเซียลเป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ด้วยตัวรับกราไฟท์คาร์บอนคุณภาพสูงและถ้วยใส่ตัวอย่างควอตซ์ที่ประมวลผลโดย MOCVD บนพื้นผิวของกราไฟท์ เซรามิก ฯลฯ ผลิตภัณฑ์นี้จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการจัดการแผ่นเวเฟอร์และการประมวลผลการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว ตัวพาเคลือบ SiC ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการนำความร้อนสูงและคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม ทำให้เป็นตัวเลือกที่เชื่อถือได้สำหรับการทำความสะอาด RTA, RTP หรือสารเคมีที่รุนแรง

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

แผ่นพาหะ RTP แบบเคลือบ SiC ของเราสำหรับการเติบโตแบบอีปิแอกเซียลได้รับการออกแบบมาให้ทนทานต่อสภาวะที่ยากลำบากที่สุดของสภาพแวดล้อมการสะสม ด้วยความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ตัวรับความรู้สึกของอีพิแทกซีจึงอยู่ภายใต้สภาพแวดล้อมการสะสมที่สมบูรณ์แบบสำหรับการเจริญเติบโตของอีพิแทกเซียล การเคลือบคริสตัล SiC ละเอียดบนตัวพาทำให้พื้นผิวเรียบและมีความทนทานสูงต่อการทำความสะอาดด้วยสารเคมี ในขณะที่วัสดุได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อป้องกันการแตกร้าวและการหลุดร่อน
ติดต่อเราวันนี้เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับแผ่นพาหะ RTP แบบเคลือบ SiC ของเราสำหรับการเติบโตแบบอีปิแอกเชียล

พารามิเตอร์ของแผ่นพาหะ RTP ที่เคลือบด้วย SiC สำหรับการเจริญเติบโตแบบอีปิแอกเซียล

ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC
คุณสมบัติ SiC-CVD
โครงสร้างคริสตัล	เฟส FCC β
ความหนาแน่น	กรัม/ซม. ³	3.21
ความแข็ง	ความแข็งของวิคเกอร์	2500
ขนาดเกรน	ไมโครเมตร	2~10
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	%	99.99995
ความจุความร้อน	เจ กก-1 K-1	640
อุณหภูมิระเหิด	℃	2700
ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์	MPa (RT 4 จุด)	415
โมดูลัสของยัง	เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C)	430
การขยายความร้อน (C.T.E)	10-6K-1	4.5
การนำความร้อน	(W/mK)	300

คุณสมบัติของแผ่นพาหะ RTP ที่เคลือบด้วย SiC เพื่อการเติบโตแบบอีพิแอกเชียล

กราไฟท์เคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง
ทนความร้อนได้เหนือกว่าและความสม่ำเสมอทางความร้อน
เคลือบคริสตัล SiC ละเอียดเพื่อพื้นผิวเรียบ
มีความทนทานสูงต่อการทำความสะอาดด้วยสารเคมี
วัสดุได้รับการออกแบบเพื่อไม่ให้เกิดรอยแตกร้าวและการหลุดร่อน

แท็กยอดนิยม: แผ่นผู้ให้บริการ RTP เคลือบ SiC สำหรับการเจริญเติบโตของ Epitaxial, จีน, ผู้ผลิต, ซัพพลายเออร์, โรงงาน, ปรับแต่ง, จำนวนมาก, ขั้นสูง, ทนทาน

แท็กสินค้า

หมวดหมู่ที่เกี่ยวข้อง