วงแหวนโฟกัสที่ทนทานของ Semicorex สำหรับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ได้รับการออกแบบมาให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรงของห้องกัดพลาสมาที่ใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ วงแหวนโฟกัสของเราทำจากกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเคลือบด้วยซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่หนาแน่นและทนทานต่อการสึกหรอ การเคลือบ SiC มีคุณสมบัติการกัดกร่อนและทนความร้อนสูง รวมทั้งการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม เราใช้ SiC ในชั้นบาง ๆ ลงบนกราไฟต์โดยใช้กระบวนการสะสมไอเคมี (CVD) เพื่อปรับปรุงอายุการใช้งานของวงแหวนโฟกัสของเรา
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม