Semicorex เป็นผู้ผลิตและจำหน่ายกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ขนาดใหญ่ในประเทศจีน เราให้บริการเครื่องทำความร้อน ถ้วยใส่ตัวอย่าง อุปกรณ์ป้องกันความร้อน และส่วนประกอบที่เป็นฉนวนสำหรับกระบวนการและวัสดุสำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยว เรามุ่งเน้นไปที่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ฮีตเตอร์ซิลิคอนเวเฟอร์ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดหลายแห่งในยุโรปและอเมริกา เราหวังว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณ
Semicorex Silicon Wafer Heater เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์โดยใช้ MOCVD ซึ่งสามารถทำงานได้ในเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูงกว่า 3,000 °C ในบรรยากาศเฉื่อย และ 2200 °C ในสุญญากาศ การเคลือบ SiC เป็นการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความหนาแน่นและทนทานต่อการสึกหรอ
ฮีตเตอร์ซิลิคอนเวเฟอร์ของเรามีคุณสมบัติต้านทานการกัดกร่อนและความร้อนสูง รวมทั้งการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม เราใช้ SiC เป็นชั้นบาง ๆ ลงบนกราไฟต์โดยใช้กระบวนการสะสมไอเคมี (CVD)
ที่ Semicorex เรามุ่งเน้นที่การจัดหาผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและคุ้มค่าแก่ลูกค้าของเรา ฮีตเตอร์ซิลิคอนเวเฟอร์ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาและส่งออกไปยังตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เรามุ่งมั่นที่จะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ นำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสม่ำเสมอและการบริการลูกค้าที่ยอดเยี่ยม
พารามิเตอร์ของฮีตเตอร์ซิลิคอนเวเฟอร์
ข้อกำหนดทางเทคนิค |
VET-M3 |
ความหนาแน่นรวม (g/cm3) |
€1.85 |
ปริมาณเถ้า (PPM) |
¤500 |
ความแข็งของชายฝั่ง |
€45 |
ความต้านทานจำเพาะ (μ.Ω.m) |
¤12 |
แรงดัด (Mpa) |
€40 |
แรงอัด (Mpa) |
€70 |
สูงสุด ขนาดเกรน (μm) |
¤43 |
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน มม./°C |
¤4.4*10-6 |
คุณสมบัติของเครื่องทำซิลิกอนเวเฟอร์
- การเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ใช้วิธี CVD เพื่อปรับปรุงอายุการใช้งาน
- ฉนวนกันความร้อนทำจากคาร์บอนแข็งบริสุทธิ์ประสิทธิภาพสูง
- ทั้งพื้นผิวกราไฟท์และชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์มีค่าการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติในการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม
- กราไฟต์ความบริสุทธิ์สูงและการเคลือบ SiC เพื่อความทนทานต่อรูเข็มและอายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น
เราสามารถจัดหาสารต้านออกซิเดชันและเบ้าหลอมกราไฟต์ที่มีอายุการใช้งานยาวนาน แม่พิมพ์กราไฟต์ และทุกส่วนของเครื่องทำความร้อนกราไฟต์