Semicorex เป็นผู้ผลิตและจำหน่ายกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ขนาดใหญ่ในประเทศจีน แหวนซีลทางเข้า MOCVD ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ
แหวนซีลทางเข้า MOCVD เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ Semicorex เป็นกราไฟท์เคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง ใช้ในกระบวนการสะสมและการจัดการแผ่นเวเฟอร์ แหวนซีลทางเข้า MOCVD ที่เคลือบด้วย SiC มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีความเสถียรสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
ที่ Semicorex เรามุ่งเน้นไปที่การจัดหาแหวนซีลทางเข้า MOCVD คุณภาพสูงและคุ้มค่า เราให้ความสำคัญกับความพึงพอใจของลูกค้าและนำเสนอโซลูชั่นที่คุ้มค่า เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ นำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและการบริการลูกค้าที่เป็นเลิศ
พารามิเตอร์ของแหวนซีลทางเข้า MOCVD
ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC |
||
คุณสมบัติ SiC-CVD |
||
โครงสร้างคริสตัล |
เฟส FCC β |
|
ความหนาแน่น |
กรัม/ซม. ³ |
3.21 |
ความแข็ง |
ความแข็งของวิคเกอร์ |
2500 |
ขนาดเกรน |
ไมโครเมตร |
2~10 |
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี |
% |
99.99995 |
ความจุความร้อน |
เจ กก-1 K-1 |
640 |
อุณหภูมิระเหิด |
℃ |
2700 |
ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์ |
MPa (RT 4 จุด) |
415 |
โมดูลัสของยัง |
เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C) |
430 |
การขยายตัวทางความร้อน (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
การนำความร้อน |
(W/mK) |
300 |
คุณสมบัติของแหวนซีลทางเข้า MOCVD
กราไฟท์เคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง
ทนความร้อนได้เหนือกว่าและความสม่ำเสมอทางความร้อน
เคลือบคริสตัล SiC ละเอียดเพื่อพื้นผิวเรียบ
มีความทนทานสูงต่อการทำความสะอาดด้วยสารเคมี
วัสดุได้รับการออกแบบเพื่อไม่ให้เกิดรอยแตกร้าวและการหลุดร่อน