ถาดใส่เวเฟอร์

Semicorex นำเสนอเซรามิกเกรดเซมิคอนดักเตอร์สำหรับเครื่องมือผลิตกึ่งตัวนำ OEM ของคุณและส่วนประกอบการจัดการเวเฟอร์ โดยเน้นที่ชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เราเป็นผู้ผลิตและจำหน่าย Wafer Carrier Tray มาหลายปีแล้ว ถาดใส่เวเฟอร์ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดส่วนใหญ่ในยุโรปและอเมริกา เราหวังว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

ไม่เพียงแต่สำหรับขั้นตอนการเคลือบฟิล์มบาง เช่น epitaxy หรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์เท่านั้น Semicorex ยังจัดหาตัวพาเซรามิกบริสุทธิ์พิเศษที่ใช้เพื่อรองรับเวเฟอร์ ที่แกนหลักของกระบวนการ ถาดใส่แผ่นเวเฟอร์สำหรับ MOCVD นั้นต้องอยู่ภายใต้สภาวะแวดล้อมที่มีการสะสมตัวเป็นอันดับแรก จึงมีความต้านทานต่อความร้อนและการกัดกร่อนสูง ตัวพาที่เคลือบด้วย SiC ยังมีคุณสมบัติการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติในการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม
ติดต่อเราวันนี้เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับถาดใส่เวเฟอร์ของเรา

พารามิเตอร์ของถาดใส่เวเฟอร์

คุณสมบัติทางเทคนิค
ดัชนี	หน่วย	ค่า
ชื่อวัสดุ		ปฏิกิริยาซิลิกอนคาร์ไบด์เผา	ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาแบบไร้แรงดัน	ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่
องค์ประกอบ		อาร์.บี.ซี	สสส	R-SiC
ความหนาแน่นรวม	กรัม/ซม.3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
ความแข็งแรงดัด	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
กำลังอัด	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
ความแข็ง	น๊อป	2700	2800	/
ทำลายความดื้อรั้น	MPa ม.1/2	4.5	4	/
การนำความร้อน	W/m.k	95	120	23
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน	10^-6.1/°ซ	5	4	4.7
ความร้อนจำเพาะ	จูล/กรัม 0k	0.8	0.67	/
อุณหภูมิสูงสุดในอากาศ	℃	1200	1500	1600
โมดูลัสยืดหยุ่น	เกรดเฉลี่ย	360	410	240

ความแตกต่างระหว่าง SSiC และ RBSiC:

1. กระบวนการเผาจะแตกต่างกัน RBSiC คือการแทรกซึม Si อิสระเข้าไปในซิลิกอนคาร์ไบด์ที่อุณหภูมิต่ำ SSiC เกิดจากการหดตัวตามธรรมชาติที่ 2100 องศา

2. SSiC มีพื้นผิวที่เรียบกว่า ความหนาแน่นสูงกว่า และความแข็งแรงสูงกว่า สำหรับการปิดผนึกบางอย่างที่มีข้อกำหนดพื้นผิวที่เข้มงวดกว่า SSiC จะดีกว่า

3. เวลาใช้งานที่แตกต่างกันภายใต้ค่า pH และอุณหภูมิที่แตกต่างกัน SSiC จะนานกว่า RBSiC

คุณสมบัติของถาดใส่เวเฟอร์

- การเคลือบ CVD Silicon Carbide เพื่อปรับปรุงอายุการใช้งาน
- ฉนวนกันความร้อนทำจากคาร์บอนแข็งบริสุทธิ์ประสิทธิภาพสูง
- ทั้งพื้นผิวกราไฟท์และชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์มีค่าการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติในการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม
- กราไฟต์ความบริสุทธิ์สูงและการเคลือบ SiC เพื่อความทนทานต่อรูเข็มและอายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น

รูปร่างที่มีจำหน่ายของซิลิคอนคาร์ไบด์เซรามิกส์¼

â แท่งเซรามิก / พินเซรามิก / ลูกสูบเซรามิก

ท่อเซรามิก / บูชเซรามิก / ปลอกเซรามิก

แหวนเซรามิก / แหวนรองเซรามิก / สเปเซอร์เซรามิก

แผ่นเซรามิก

จานเซรามิก / บล็อกเซรามิก

ลูกบอลเซรามิก

ลูกสูบเซรามิก

หัวฉีดเซรามิก

เบ้าหลอมเซรามิก

â ชิ้นส่วนเซรามิกสั่งทำพิเศษอื่นๆ