ถาดใส่เวเฟอร์

Semicorex นำเสนอเซรามิกเกรดเซมิคอนดักเตอร์สำหรับเครื่องมือการผลิตกึ่งตัวนำ OEM และส่วนประกอบการจัดการเวเฟอร์ที่เน้นไปที่ชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เราเป็นผู้ผลิตและจำหน่าย Wafer Carrier Tray มาหลายปีแล้ว ถาดใส่เวเฟอร์ของเรามีความได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดส่วนใหญ่ในยุโรปและอเมริกา เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

ไม่เพียงแต่สำหรับขั้นตอนการสะสมฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์เท่านั้น Semicorex ยังจัดหาตัวพาเซรามิกบริสุทธิ์พิเศษที่ใช้เพื่อรองรับเวเฟอร์ หัวใจหลักของกระบวนการคือ Wafer Carrier Tray สำหรับ MOCVD ที่ต้องผ่านสภาพแวดล้อมที่มีการสะสมตัวเป็นอันดับแรก จึงมีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ตัวพาที่เคลือบ SiC ยังมีค่าการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม
ติดต่อเราวันนี้เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับถาดใส่เวเฟอร์ของเรา

พารามิเตอร์ของถาดใส่เวเฟอร์

คุณสมบัติทางเทคนิค
ดัชนี	หน่วย	ค่า
ชื่อวัสดุ		ปฏิกิริยาซินเทอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์	ซิลิคอนคาร์ไบด์เผาผนึกไร้แรงดัน	ซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่
องค์ประกอบ		อาร์บีซีซี	สสส	R-SiC
ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม	กรัม/ซม3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°ซ) 90-100(1,400°ซ)
แรงอัด	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
ความแข็ง	ปุ่ม	2700	2800	/
ทำลายความดื้อรั้น	เมกะปาสคาล ม1/2	4.5	4	/
การนำความร้อน	W/m.k	95	120	23
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน	10^-6.1/°ซ	5	4	4.7
ความร้อนจำเพาะ	จูล/กรัม 0k	0.8	0.67	/
อุณหภูมิสูงสุดในอากาศ	℃	1200	1500	1600
โมดูลัสยืดหยุ่น	เกรดเฉลี่ย	360	410	240

ความแตกต่างระหว่าง SSiC และ RBSiC:

1. กระบวนการเผาผนึกแตกต่างกัน RBSiC คือการแทรกซึม Si อิสระเข้าไปในซิลิคอนคาร์ไบด์ที่อุณหภูมิต่ำ SSiC เกิดจากการหดตัวตามธรรมชาติที่อุณหภูมิ 2100 องศา

2. SSiC มีพื้นผิวที่เรียบกว่า มีความหนาแน่นสูงกว่าและมีความแข็งแรงสูงกว่า สำหรับการปิดผนึกบางอย่างที่มีข้อกำหนดพื้นผิวที่เข้มงวดมากขึ้น SSiC จะดีกว่า

3. เวลาใช้งานที่แตกต่างกันภายใต้ค่า PH และอุณหภูมิที่แตกต่างกัน SSiC จะนานกว่า RBSiC

คุณสมบัติของถาดใส่เวเฟอร์

- เคลือบ CVD Silicon Carbide เพื่อยืดอายุการใช้งาน
- ฉนวนกันความร้อนทำจากคาร์บอนแข็งบริสุทธิ์ประสิทธิภาพสูง
- ทั้งซับสเตรตกราไฟท์และชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์มีค่าการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม
- กราไฟท์ความบริสุทธิ์สูงและการเคลือบ SiC เพื่อความทนทานต่อรูเข็มและอายุการใช้งานที่สูงขึ้น

รูปร่างที่มีจำหน่ายของเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์：

● ก้านเซรามิก / พินเซรามิก / ลูกสูบเซรามิก

● ท่อเซรามิก / บุชชิ่งเซรามิก / ปลอกเซรามิก

● แหวนเซรามิก / แหวนรองเซรามิก / ตัวเว้นระยะเซรามิก

● จานเซรามิค

● จานเซรามิก / บล็อกเซรามิก

● ลูกบอลเซรามิก

● ลูกสูบเซรามิก

● หัวฉีดเซรามิก

● ถ้วยใส่ตัวอย่างเซรามิก

● ชิ้นส่วนเซรามิกสั่งทำพิเศษอื่นๆ