Semicorex Quartz Diffusion Boat หรือที่เรียกกันว่าตัวพาควอทซ์หรือเรือควอทซ์เวเฟอร์ ได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษเพื่อยึดเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ในระหว่างกระบวนการที่สำคัญ เช่น การสะสมไอสารเคมี (CVD) การออกซิเดชันด้วยความร้อน และการหลอม**
ในการสะสมไอสารเคมี (CVD) บทบาทของ Quartz Diffusion Boat มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการสะสมตัวของฟิล์มบางบนพื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์อย่างสม่ำเสมอ การออกแบบทางวิศวกรรมที่แม่นยำของ Quartz Diffusion Boat ช่วยให้มั่นใจได้ว่าแผ่นเวเฟอร์จะถูกยึดเข้าที่อย่างแน่นหนา ช่วยให้สามารถกระจายตัวทำปฏิกิริยาที่เป็นก๊าซบนพื้นผิวได้อย่างทั่วถึง ความสม่ำเสมอนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในการบรรลุความหนาและองค์ประกอบของฟิล์มที่สม่ำเสมอ ซึ่งส่งผลกระทบโดยตรงต่อประสิทธิภาพทางไฟฟ้าของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เรือ Semicorex Quartz Diffusion ได้รับการออกแบบมาให้ทนต่ออุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อนซึ่งมักพบในกระบวนการ CVD จึงมั่นใจได้ถึงความทนทานและความน่าเชื่อถือในระยะยาว
การออกซิเดชันด้วยความร้อนเป็นอีกกระบวนการที่สำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยที่ชั้นซิลิคอนไดออกไซด์จะเติบโตบนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน ชั้นออกไซด์นี้ทำหน้าที่เป็นฉนวนและจำเป็นต่อการทำงานที่เหมาะสมของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เรือกระจายควอตซ์ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้มีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยม ทำให้มั่นใจได้ว่าแผ่นเวเฟอร์สัมผัสกับอุณหภูมิที่สม่ำเสมอในระหว่างกระบวนการออกซิเดชั่น ความสม่ำเสมอนี้เป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการเติบโตของชั้นออกไซด์ที่สม่ำเสมอและมีคุณภาพสูง ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสุดท้าย
การหลอมซึ่งเกี่ยวข้องกับการควบคุมความร้อนและความเย็นของแผ่นเวเฟอร์เพื่อเปลี่ยนแปลงคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมี เป็นอีกกระบวนการหนึ่งที่เรือกระจายควอตซ์มีบทบาทสำคัญ การควบคุมอุณหภูมิและบรรยากาศที่แม่นยำในระหว่างการหลอมเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการปรับปรุงโครงสร้างผลึกของซิลิคอน การกระตุ้นสารเจือปน และลดข้อบกพร่อง เรือกระจายควอตซ์ Semicorex ได้รับการออกแบบมาเพื่อรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างและความเสถียรทางความร้อนภายใต้อุณหภูมิสูงและการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วโดยทั่วไปของกระบวนการหลอม ความเสถียรนี้ช่วยให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ได้รับการปฏิบัติอย่างเท่าเทียมกัน บรรลุคุณสมบัติของวัสดุที่ต้องการ และเพิ่มประสิทธิภาพการทำงานของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
การปรับแต่งเป็นส่วนสำคัญของ Quartz Diffusion Boat เนื่องจากกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ มีข้อกำหนดเฉพาะ ที่ Semicorex เรานำเสนอรูปทรงและขนาดที่ปรับแต่งได้หลากหลายเพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะของลูกค้าของเรา กลุ่มผลิตภัณฑ์ของเราประกอบด้วยตัวพาแผ่นเวเฟอร์ควอทซ์หลายประเภท เช่น เรือควอทซ์ เรือเจาะ เรือเรียบ และเรือรูปทรงยืน เราเชี่ยวชาญในการผลิตตัวพาเวเฟอร์สำหรับข้อกำหนดต่างๆ ซึ่งรวมถึงเวเฟอร์ขนาด 3″, 4″, 5″, 6″, 7″ และ 8″ มีทั้งวัสดุหลอมละลายใสและทึบแสง ซึ่งช่วยให้เราสามารถจัดหาโซลูชันที่ปรับให้เหมาะกับความต้องการเฉพาะของแต่ละการใช้งานได้
ความสามารถในการผลิตของเราได้รับการสนับสนุนโดยสิ่งอำนวยความสะดวกที่ล้ำสมัย รวมถึงห้องเชื่อมไร้ฝุ่นและเวิร์กช็อปการประมวลผลที่มีมาตรฐานสูง เราใช้เทคโนโลยีขั้นสูง เช่น การตัดด้วยเลเซอร์ เครื่องแมชชีนนิ่งเซ็นเตอร์ CNC เครื่องสล็อต CNC และการตัดน้ำที่มีประสิทธิภาพ เพื่อให้มั่นใจในคุณภาพและความแม่นยำสูงสุดในเรือกระจายควอตซ์ กระบวนการผลิตขั้นสูงเหล่านี้ช่วยให้เราสามารถผลิตเรือควอทซ์ที่มีขนาดที่แม่นยำและการตกแต่งพื้นผิวที่เหนือกว่า ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่ดีที่สุดในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์