เรือควอทซ์เวเฟอร์

เรือเวเฟอร์ควอตซ์เป็นตัวพาที่มีความแม่นยำซึ่งทำจากควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งใช้ในการยึดและรักษาความปลอดภัยเวเฟอร์- เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ขาดไม่ได้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ ซึ่งให้การรับประกันที่เชื่อถือได้สำหรับการผลิตที่มีความแม่นยำสูงและมีประสิทธิภาพสูง

เรือเวเฟอร์ควอตซ์ได้รับการตัดเฉือนอย่างแม่นยำตามรูปทรงและขนาดเฉพาะ ส่งผลให้สามารถใช้งานร่วมกับอุปกรณ์กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์หลากหลายประเภทได้อย่างยอดเยี่ยม ช่องภายในที่ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยำและการออกแบบโครงสร้างที่ได้รับการปรับปรุงให้เหมาะสม ตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์เพื่อความแม่นยำของรอยบาก ความขนาน และตั้งฉาก ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงที่จะเกิดความเสียหายทางกายภาพต่อแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ

วัสดุควอตซ์ที่เลือกโดย Semicorex มีความบริสุทธิ์ ≥99.995% และมีปริมาณสิ่งเจือปนต่ำมาก ซึ่งสามารถตอบสนองข้อกำหนดด้านความบริสุทธิ์ที่เข้มงวดของกระบวนการสำคัญในขั้นตอนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และป้องกันการปนเปื้อนของเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ

ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงนี้แสดงคุณสมบัติที่โดดเด่น เช่น ความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงได้ดีเยี่ยม ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และความเสถียรทางเคมีสูง ซึ่งช่วยให้สามารถปรับให้เข้ากับความต้องการกระบวนการที่ซับซ้อนของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้ สามารถทำงานได้อย่างเสถียรและยาวนานในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงประมาณ 1200°C ซึ่งตอบสนองความต้องการของกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่กระจายของเซมิคอนดักเตอร์ การเกิดออกซิเดชัน การหลอม และการแพร่กระจายที่อุณหภูมิสูงของเซลล์แสงอาทิตย์ ทำให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์หรือเวเฟอร์ซิลิคอนจะไม่ได้รับความเสียหายจากการเสียรูปหรือการหลอมละลายระหว่างการประมวลผลที่อุณหภูมิสูง

ความเสถียรทางเคมีที่แข็งแกร่งทำให้ไม่น่าจะทำปฏิกิริยากับก๊าซที่ใช้ในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์หรือรีเอเจนต์เคมีที่ใช้ในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ และไม่ปล่อยสิ่งเจือปน ทำให้มั่นใจได้ถึงระดับความสะอาดสูงในสภาพแวดล้อมการผลิต รับประกันความบริสุทธิ์ของผลิตภัณฑ์ และรับประกันความเสถียรของกระบวนการ