เรือเวเฟอร์ควอตซ์แนวนอน

เรือเวเฟอร์ควอทซ์แนวนอนโดยทั่วไปจะยึดเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ในแนวนอนภายในท่อเตาเผาของอุปกรณ์บำบัดความร้อน ซึ่งได้รับความร้อนจากอุปกรณ์ทำความร้อนภายนอก มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการบำบัดความร้อนด้วยสารกึ่งตัวนำที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่อุณหภูมิสูง เช่น กระบวนการออกซิเดชันด้วยความร้อน การแพร่กระจายที่อุณหภูมิสูง การอบอ่อน และกระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD)

ฟังก์ชั่นของเรือเวเฟอร์ควอทซ์แนวนอน Semicorex

1. การถือครองและการรักษาความปลอดภัยที่มั่นคง

เรือเวเฟอร์ควอทซ์แนวนอน Semicorex มีความสามารถในการรับน้ำหนักที่ดีเยี่ยม และสามารถรองรับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์หลายตัวได้อย่างมีเสถียรภาพ และการออกแบบภายนอกที่ได้รับการปรับปรุงให้เหมาะสมและโครงสร้างสล็อตที่แม่นยำทำให้มั่นใจได้ว่าแต่ละอันเวเฟอร์ได้รับการติดตั้งอย่างสมบูรณ์แบบและยึดแน่นหนาบนเรือเวเฟอร์ควอทซ์แนวนอน ซึ่งช่วยลดรอยขีดข่วนและการชนของเวเฟอร์ที่เกิดจากการสั่น การเคลื่อนตัว และการเอียงระหว่างการขนส่งและกระบวนการผลิตได้อย่างมาก

2. ความช่วยเหลือด้านความสม่ำเสมอของกระบวนการ

โครงสร้างช่องที่มีระยะห่างเท่ากันของเรือเวเฟอร์ควอทซ์แนวนอนช่วยให้สามารถวางเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างเป็นระเบียบ ดังนั้นจึงสร้างสนามการไหลของก๊าซที่เสถียรและราบรื่นในเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูง การออกแบบโครงสร้างทำให้มีอัตราการสัมผัสและปฏิกิริยาของก๊าซที่สม่ำเสมอบนพื้นผิวเวเฟอร์แต่ละชิ้น จึงช่วยลดข้อบกพร่องต่างๆ ที่เกิดจากความร้อนที่ไม่สม่ำเสมอและการสัมผัสของก๊าซที่แตกต่างกันได้อย่างมีประสิทธิภาพ เช่น การเกิดออกซิเดชันของเวเฟอร์ที่ไม่สมบูรณ์ การสะสมของฟิล์มบางที่ไม่สม่ำเสมอ และการเบี่ยงเบนความเข้มข้นของสารต้องห้าม

3. อายุการใช้งานยาวนาน

ด้วยความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงที่เหนือกว่าของวัสดุควอตซ์ เรือเวเฟอร์ควอตซ์แนวนอน Semicorex จึงสามารถทนต่ออุณหภูมิสูงที่ 1100-1200℃ ได้เป็นเวลานานโดยไม่เสียรูปหรือหลอมละลายควอตซ์เป็นก๊าซเฉื่อยทางเคมีที่ใช้กันทั่วไปในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ เช่น ออกซิเจน ไนโตรเจน และไฮโดรเจนคลอไรด์ ความเฉื่อยของสารเคมีที่โดดเด่นนี้สามารถลดความเสี่ยงต่อการกัดกร่อนจากก๊าซในกระบวนการ ยืดอายุการใช้งานได้อย่างมาก และลดเวลาและต้นทุนในการเปลี่ยนอุปกรณ์