ตัวรับ MOCVD กราไฟท์เคลือบ SiC

ตัวรับ MOCVD กราไฟท์เคลือบ SiCเป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในอุปกรณ์การสะสมไอสารเคมีโลหะ-อินทรีย์ (MOCVD) ซึ่งมีหน้าที่ในการกักเก็บและให้ความร้อนแก่ซับสเตรตเวเฟอร์ ด้วยการจัดการความร้อนที่เหนือกว่า ความทนทานต่อสารเคมี และความเสถียรของขนาด ตัวรับ MOCVD กราไฟท์เคลือบ SiC จึงถือเป็นตัวเลือกที่ดีที่สุดสำหรับเอพิแทกซีซับสเตรตเวเฟอร์คุณภาพสูง

ในการผลิตแผ่นเวเฟอร์กระทรวงสาธารณสุขเทคโนโลยีนี้ใช้ในการสร้างชั้น epitaxis บนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ เพื่อเตรียมการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง เนื่องจากการเติบโตของชั้น epitaxis ได้รับผลกระทบจากปัจจัยหลายประการ จึงไม่สามารถวางซับสเตรตเวเฟอร์ลงในอุปกรณ์ MOCVD เพื่อการสะสมได้โดยตรง ต้องใช้ตัวรับ MOCVD กราไฟท์เคลือบ SiC เพื่อยึดและให้ความร้อนแก่ซับสเตรตเวเฟอร์ ทำให้เกิดสภาวะความร้อนที่เสถียรสำหรับการเจริญเติบโตของชั้นเอพิเทเชียล ดังนั้น ประสิทธิภาพของตัวรับ MOCVD กราไฟท์เคลือบ SiC จะกำหนดความสม่ำเสมอและความบริสุทธิ์ของวัสดุฟิล์มบางโดยตรง ซึ่งจะส่งผลต่อการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง

Semicorex เลือกกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นวัสดุเมทริกซ์สำหรับตัวรับ MOCVD กราไฟท์ที่เคลือบด้วย SiC จากนั้นจึงเคลือบเมทริกซ์กราไฟท์อย่างสม่ำเสมอด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์เคลือบด้วยเทคโนโลยี CVD เมื่อเปรียบเทียบกับเทคโนโลยีทั่วไป เทคโนโลยี CVD ช่วยเพิ่มความแข็งแรงในการยึดเกาะระหว่างการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์และเมทริกซ์กราไฟท์ได้อย่างมีนัยสำคัญ ส่งผลให้การเคลือบมีความหนาแน่นมากขึ้นและการยึดเกาะที่แข็งแกร่งยิ่งขึ้น แม้ภายใต้บรรยากาศที่มีการกัดกร่อนที่อุณหภูมิสูงที่ต้องการ การเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ยังคงรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างและความเสถียรทางเคมีในระยะเวลานาน ป้องกันการสัมผัสโดยตรงระหว่างก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและเมทริกซ์กราไฟท์ วิธีนี้จะหลีกเลี่ยงการกัดกร่อนของเมทริกซ์กราไฟท์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ และป้องกันอนุภาคกราไฟท์จากการหลุดและการปนเปื้อนของซับสเตรตเวเฟอร์และชั้นเอปิแอกเชียล ทำให้มั่นใจในความสะอาดและผลผลิตของการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

ข้อดีของตัวรับ MOCVD กราไฟท์เคลือบ SiC ของ Semicorex

1. ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม

2. การนำความร้อนสูง

3. เสถียรภาพทางความร้อนที่เหนือกว่า

4. ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ

5. ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยม

6. ความเรียบเนียนของพื้นผิวสูง

7. อายุการใช้งานที่ยาวนาน