แผ่นพาหะ RTP กราไฟท์ SiC สำหรับ MOCVD

แผ่นพาหะ RTP กราไฟท์ Semicorex SiC สำหรับ MOCVD มีความต้านทานความร้อนและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่เหนือกว่า ทำให้เป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ด้วยกราไฟท์เคลือบ SiC คุณภาพสูง ผลิตภัณฑ์นี้ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมการสะสมที่รุนแรงที่สุดสำหรับการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว ค่าการนำความร้อนสูงและคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยมทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้สำหรับการทำความสะอาด RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

แผ่นพาหะ RTP กราไฟท์ SiC ของเราสำหรับ MOCVD สำหรับ MOCVD Epitaxial Growth เป็นโซลูชันที่สมบูรณ์แบบสำหรับการจัดการแผ่นเวเฟอร์และการประมวลผลการเจริญเติบโตของเอพิเทเชียล ด้วยพื้นผิวเรียบและความทนทานสูงต่อการทำความสะอาดด้วยสารเคมี ผลิตภัณฑ์นี้จึงรับประกันประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ในสภาพแวดล้อมที่มีการสะสมตัวที่รุนแรง
วัสดุของแผ่นพาหะ RTP กราไฟท์ SiC ของเราสำหรับ MOCVD ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมมาเพื่อป้องกันการแตกร้าวและการหลุดล่อน ในขณะที่ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและความสม่ำเสมอทางความร้อนทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
ติดต่อเราวันนี้เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับ SiC Graphite RTP Carrier Plate สำหรับ MOCVD

พารามิเตอร์ของแผ่นพาหะ RTP กราไฟท์ SiC สำหรับ MOCVD

ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC
คุณสมบัติ SiC-CVD
โครงสร้างคริสตัล	เฟส FCC β
ความหนาแน่น	กรัม/ซม. ³	3.21
ความแข็ง	ความแข็งของวิคเกอร์	2500
ขนาดเกรน	ไมโครเมตร	2~10
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	%	99.99995
ความจุความร้อน	เจ กก-1 K-1	640
อุณหภูมิระเหิด	℃	2700
ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์	MPa (RT 4 จุด)	415
โมดูลัสของยัง	เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C)	430
การขยายความร้อน (C.T.E)	10-6K-1	4.5
การนำความร้อน	(W/mK)	300

คุณสมบัติของแผ่นพาหะ RTP กราไฟท์ SiC สำหรับ MOCVD

กราไฟท์เคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง
ทนความร้อนได้เหนือกว่าและความสม่ำเสมอทางความร้อน
เคลือบคริสตัล SiC ละเอียดเพื่อพื้นผิวเรียบ
มีความทนทานสูงต่อการทำความสะอาดด้วยสารเคมี
วัสดุได้รับการออกแบบเพื่อไม่ให้เกิดรอยแตกร้าวและการหลุดร่อน