ตัวพาเวเฟอร์พื้นผิวกราไฟท์เคลือบ SiC สำหรับ MOCVD

คุณสามารถมั่นใจได้ในการซื้อ SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carriers สำหรับ MOCVD จากโรงงานของเรา ที่ Semicorex เราเป็นผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ SiC Coated Graphite Susceptor ขนาดใหญ่ในประเทศจีน ผลิตภัณฑ์ของเรามีความได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เรามุ่งมั่นที่จะมอบผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงที่ตรงตามความต้องการเฉพาะของลูกค้า ตัวพาเวเฟอร์พื้นผิวกราไฟท์เคลือบ SiC ของเราสำหรับ MOCVD เป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยมสำหรับผู้ที่กำลังมองหาตัวพาประสิทธิภาพสูงสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

ตัวพาเวเฟอร์พื้นผิวกราไฟท์เคลือบ SiC สำหรับ MOCVD มีบทบาทสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตภัณฑ์ของเรามีความเสถียรสูง แม้ในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง ทำให้เป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยมสำหรับการผลิตเวเฟอร์คุณภาพสูง
คุณลักษณะของตัวพาเวเฟอร์พื้นผิวกราไฟท์เคลือบ SiC สำหรับ MOCVD ของเรามีความโดดเด่น พื้นผิวที่หนาแน่นและอนุภาคละเอียดช่วยเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อน ทำให้ทนทานต่อกรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์ ตัวพารับประกันโปรไฟล์การระบายความร้อนที่สม่ำเสมอและรับประกันรูปแบบการไหลของก๊าซแบบลามินาร์ที่ดีที่สุด ป้องกันการปนเปื้อนหรือสิ่งเจือปนไม่ให้แพร่กระจายเข้าไปในแผ่นเวเฟอร์

พารามิเตอร์ของตัวพาเวเฟอร์พื้นผิวกราไฟท์เคลือบ SiC สำหรับ MOCVD

ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC
คุณสมบัติ SiC-CVD
โครงสร้างคริสตัล	เฟส FCC β
ความหนาแน่น	กรัม/ซม. ³	3.21
ความแข็ง	ความแข็งของวิคเกอร์	2500
ขนาดเกรน	ไมโครเมตร	2~10
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	%	99.99995
ความจุความร้อน	เจ กก-1 K-1	640
อุณหภูมิระเหิด	℃	2700
ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์	MPa (RT 4 จุด)	415
โมดูลัสของยัง	เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C)	430
การขยายความร้อน (C.T.E)	10-6K-1	4.5
การนำความร้อน	(W/mK)	300

คุณลักษณะของตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiC สำหรับ MOCVD

- หลีกเลี่ยงการลอกออกและเคลือบให้ทั่วทุกพื้นผิว
ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง: เสถียรที่อุณหภูมิสูงถึง 1600°C
ความบริสุทธิ์สูง: เกิดจากการสะสมไอสารเคมี CVD ภายใต้สภาวะคลอรีนที่อุณหภูมิสูง
ความต้านทานการกัดกร่อน: ความแข็งสูง พื้นผิวหนาแน่น และอนุภาคละเอียด
ความต้านทานการกัดกร่อน: กรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์
- บรรลุรูปแบบการไหลของก๊าซแบบลามินาร์ที่ดีที่สุด
- รับประกันความสม่ำเสมอของโปรไฟล์ความร้อน
- ป้องกันการปนเปื้อนหรือการแพร่กระจายของสิ่งสกปรก