Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสูญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
พื้นผิว AIN ของ Semicorex เป็นเลิศในการจัดการระบายความร้อนและการแยกทางไฟฟ้าที่เหนือกว่า มอบโซลูชันที่แข็งแกร่งที่สร้างจากเซรามิก AlN ที่มีความบริสุทธิ์สูง วัสดุเซรามิกสีขาวนี้ได้รับการยกย่องในด้านคุณสมบัติที่ครอบคลุม**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex ภูมิใจเสนอพื้นผิว Al2O3 ซึ่งเป็นวัสดุอเนกประสงค์และประสิทธิภาพสูงที่สร้างจากอลูมิเนียมออกไซด์ (อลูมินา) ที่มีความบริสุทธิ์สูง พื้นผิวเซรามิกขั้นสูงนี้ได้รับการยกย่องจากคุณสมบัติพิเศษ ทำให้เป็นรากฐานที่สำคัญในอุตสาหกรรมไฮเทคต่างๆ รวมถึงอิเล็กทรอนิกส์ ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และเซลล์เชื้อเพลิงโซลิดออกไซด์**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามลูกกลิ้งนำซิลิคอนไนไตรด์โดย Semicorex แสดงถึงจุดสุดยอดในด้านวิศวกรรมเซรามิกขั้นสูง ผลิตภัณฑ์นี้นำเสนอการผสมผสานที่น่าทึ่งระหว่างคุณสมบัติทางกล ความร้อน และทางไฟฟ้า**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามหัวจับสุญญากาศ Semicorex Al2O3 ได้รับการออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ รวมถึงการทำให้ผอมบาง หั่นเป็นชิ้น การทำความสะอาด และการขนส่งเวเฟอร์ -
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามหัวจับสูญญากาศเซรามิกอลูมินา Semicorex ถูกนำไปใช้ในกระบวนการทำให้ผอมบางและการบดแผ่นเวเฟอร์ของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งทำหน้าที่เป็นเครื่องมือที่ขาดไม่ได้เพื่อให้ได้การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความแม่นยำสูงและเชื่อถือได้**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามชิ้นส่วนซีลเซรามิก Semicorex SiC ถือเป็นเครื่องพิสูจน์ถึงความสามารถด้านวัสดุศาสตร์และวิศวกรรมที่ล้ำสมัย ได้รับการออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่แน่นอนของการซีลเชิงกลประสิทธิภาพสูงในอุตสาหกรรมต่างๆ**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม