Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาปิดห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสุญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
ท่อกระบวนการ Semicorex สำหรับเตาหลอมการแพร่กระจายเป็นส่วนประกอบพิเศษที่ใช้ในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ได้รับการออกแบบมาเพื่อให้มีสภาพแวดล้อมที่มีการควบคุมสำหรับกระบวนการแพร่ ซึ่งมีการนำสิ่งเจือปนเข้าไปในเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์เพื่อปรับเปลี่ยนคุณสมบัติทางไฟฟ้า Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSiC Process Tube เป็นเครื่องปฏิกรณ์รูปทรงท่อในการอบชุบด้วยความร้อนสำหรับการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามไม้พายยื่นออกไปของซิลิกอนคาร์ไบด์ Semicorex เป็นส่วนประกอบเฉพาะที่ใช้ในเตาเผาสำหรับการใช้งานการประมวลผลความร้อนต่างๆ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแรงป้อนเวเฟอร์ขนาดใหญ่ แป้นพายเท้าแขนเซรามิก SiC ซิลิกอนคาร์ไบด์ เหมาะสำหรับหุ่นยนต์ระบบการโหลดและการจัดการอัตโนมัติ เนื่องจากมีสมรรถนะที่มั่นคง ไม่เปลี่ยนรูปในอุณหภูมิสูง และมีแรงโหลดเวเฟอร์ขนาดใหญ่ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามขอแนะนำ Wafer Transfer Hand ซึ่งออกแบบและผลิตโดยทีมผู้เชี่ยวชาญของเราในประเทศจีน ผลิตภัณฑ์นี้ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมมาโดยเฉพาะเพื่อให้แน่ใจว่าสามารถถ่ายโอนเวเฟอร์ได้อย่างปลอดภัยและมีประสิทธิภาพจากที่หนึ่งไปยังอีกที่หนึ่ง โดยไม่ทำลายพื้นผิวที่บอบบาง
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex มีเรือเวเฟอร์ แท่น และตัวพาเวเฟอร์แบบกำหนดเองสำหรับการกำหนดค่าทั้งแนวตั้ง / คอลัมน์และแนวนอน เราเป็นผู้ผลิตและจำหน่ายฟิล์มเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์มาหลายปี เรือเวเฟอร์สำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดส่วนใหญ่ในยุโรปและอเมริกา เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม