Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสูญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
Semicorex ICP Etching Plate เป็นส่วนประกอบขั้นสูงและประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งผลิตจากวัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามตัวสะท้อนแสง Semicorex SiC เป็นองค์ประกอบสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแผ่นถ่ายเทความร้อนด้วยเซรามิก Semicorex SiC ซึ่งมี SiC เป็นวัสดุหลัก ผ่านการเผาผนึกที่อุณหภูมิสูงที่ 2250°C ส่งผลให้ตัวเซรามิกมีความหนาแน่นสูงและไม่มีรูพรุน โดยมีปริมาณ SiC อยู่ที่ ≥99.3% เซรามิกเหล่านี้เป็นวัสดุเพียงชนิดเดียวที่สามารถทนต่อการกัดกร่อนจากกรดแก่ เช่น กรดไฮโดรฟลูออริก (HF) และกรดซัลฟูริก (H2SO4) ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยค่าความต้านทานการดัดงอ ≥410MPa และค่าการนำความร้อน 140W/mk พวกเราที่ Semicorex ทุ่มเทในการผลิตและจำหน่ายแผ่นถ่ายเทความร้อนเซรามิก SiC ประสิทธิภาพสูงที่หลอมรวมคุณภาพเข้ากับความคุ้มทุน -
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามชิ้นส่วนโครงสร้างเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex ที่ได้มาจากเม็ดซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ถูกเชื่อมเข้าด้วยกันโดยการเผาผนึก พบการใช้งานอย่างกว้างขวางในอุตสาหกรรมยานยนต์ เครื่องกล เคมี เซมิคอนดักเตอร์ เทคโนโลยีอวกาศ ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ และพลังงาน ซึ่งตอบสนองบทบาทที่สำคัญในการใช้งานที่หลากหลายในอุตสาหกรรมเหล่านี้ เนื่องจากคุณสมบัติที่โดดเด่น ชิ้นส่วนโครงสร้างเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์จึงกลายเป็นวัสดุในอุดมคติสำหรับสภาวะที่ไม่เอื้ออำนวยซึ่งมีอุณหภูมิสูง ความดันสูง การกัดกร่อน และการเสียดสี ให้ประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และอายุการใช้งานยาวนานในสภาพแวดล้อมการทำงานที่ท้าทาย**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามหน้าแปลนอลูมินาเซรามิกเป็นส่วนประกอบทางวิศวกรรมที่ให้ประโยชน์อย่างมาก โดยเฉพาะอย่างยิ่งในสภาพแวดล้อมที่เสถียรภาพทางความร้อน การพิจารณาน้ำหนัก และความต้านทานการกัดกร่อนมีความสำคัญอย่างยิ่ง หน้าแปลนเหล่านี้ไม่เพียงแต่ทนทานและเชื่อถือได้ แต่ยังช่วยเพิ่มประสิทธิภาพโดยรวมและความคุ้มค่าของระบบที่ใช้งานอีกด้วย คุณสมบัติที่เป็นเอกลักษณ์ทำให้เป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยมสำหรับโซลูชันทางวิศวกรรมขั้นสูงในภาคอุตสาหกรรมต่างๆ พวกเราที่ Semicorex ทุ่มเทในการผลิตและจำหน่ายหน้าแปลนอลูมินาเซรามิกประสิทธิภาพสูงที่หลอมรวมคุณภาพเข้ากับความคุ้มทุน**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามหัวจับสูญญากาศอลูมินา Semicorex เป็นอุปกรณ์จับยึดที่แม่นยำซึ่งออกแบบมาเพื่อการใช้งานด้านการผลิตและการวิจัยขั้นสูง Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม