ครีบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เป็นของแข็ง

เซมิคอร์เร็กซ์โซลิดครีบซิลิคอนคาร์ไบด์โดยทั่วไปจะติดตั้งเป็นส่วนประกอบฉนวนความร้อนภายในท่อเตาแนวตั้งของอุปกรณ์บำบัดความร้อนเซมิคอนดักเตอร์ เช่น เตาหลอม RTP และเตาหลอม ครีบซิลิคอนคาร์ไบด์แข็ง Semicorex สามารถควบคุมอุณหภูมิการกระจายตัวในเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูงได้อย่างมีประสิทธิภาพ และลดความเสียหายจากความร้อนต่อกระบวนการซีลชิ้นส่วนประตูที่เกิดจากอุณหภูมิสูง ในสภาวะการทำงานออกซิเดชันแบบเปียก สามารถใช้ครีบซิลิคอนคาร์ไบด์แข็ง Semicorex เพื่อป้องกันผลกระทบด้านลบต่อผลลัพธ์ของกระบวนการและอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่เกิดจากการควบแน่นของไอน้ำที่อุณหภูมิกระบวนการค่อนข้างต่ำได้อย่างมีประสิทธิภาพ

ข้อดีของครีบซิลิคอนคาร์ไบด์แข็ง Semicorex

1. ทนต่อการสึกหรอได้ดีเยี่ยม

CVD SiC มีโครงสร้างผลึกลูกบาศก์โพลีคริสตัลไลน์ ซึ่งมีความแข็งเป็นพิเศษรองจากเพชรเท่านั้น ความต้านทานการสึกหรอที่ดีเยี่ยมของครีบซิลิคอนคาร์ไบด์แข็ง Semicorex เนื่องมาจากคุณสมบัตินี้ ทำให้ทนทานต่อการเสียดสีระหว่างการหยิบจับและการเปลี่ยน

2. ความสามารถในการจัดการระบายความร้อนที่เหนือกว่า

CVD SiC มอบความต้านทานความร้อนที่ดีเยี่ยมและความเสถียรที่อุณหภูมิสูง ซึ่งไม่ละลายหรืออ่อนตัวลงที่อุณหภูมิสูงถึงประมาณ 2000°C และรักษาความเสถียรก่อนการระเหิดที่อุณหภูมิสูงเป็นพิเศษ ด้วยคุณลักษณะทางความร้อนที่เหนือกว่านี้ ครีบซิลิคอนคาร์ไบด์แข็ง Semicorex จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับสภาวะการประมวลผลการบำบัดความร้อนด้วยเซมิคอนดักเตอร์ที่ท้าทาย

3. ความสะอาดสูงเป็นพิเศษ

CVD-SiCผลิตขึ้นโดยไม่มีการเผาสารเติมแต่งในระหว่างกระบวนการสะสม เมื่อเปรียบเทียบกับซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ทำปฏิกิริยากับปฏิกิริยาแบบทั่วไป จะมีความบริสุทธิ์สูงกว่ามาก โดยสูงถึงมากกว่า 99.9995% สิ่งนี้ป้องกันการปนเปื้อนของโลหะเจือปนของครีบซิลิคอนคาร์ไบด์แข็ง Semicorex ที่เกิดจากอุณหภูมิสูงในสภาพแวดล้อมของกระบวนการได้อย่างมีประสิทธิภาพ ตอบสนองความต้องการด้านความสะอาดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงได้อย่างสมบูรณ์แบบ

4. ความต้านทานการกัดกร่อนที่เชื่อถือได้

ครีบซิลิกอนคาร์ไบด์แข็ง Semicorex สามารถทนทานต่อก๊าซในกระบวนการออกซิไดซ์สูงและเป็นกรดสูงที่ใช้ในกระบวนการอบชุบเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากความเฉื่อยทางเคมีที่ยอดเยี่ยมของ CVD SiC ที่อุณหภูมิสูง ความต้านทานการกัดกร่อนที่เชื่อถือได้นี้ช่วยยืดอายุการใช้งานได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยลดต้นทุนการเปลี่ยนส่วนประกอบ

5. ความแม่นยำของเครื่องจักรที่แม่นยำ

เพื่อให้มั่นใจว่าสามารถใช้งานร่วมกับท่อเตาหลอมต่างๆ Semicorex สามารถปรับแต่งครีบซิลิคอนคาร์ไบด์แข็งตามความต้องการของลูกค้าสำหรับเส้นผ่านศูนย์กลาง ความหนา ขนาดรู ความเรียบ และค่าเผื่อมิติ ความแม่นยำในการตัดเฉือนที่ได้มาตรฐานสูงนี้รับประกันการทำงานที่มั่นคงของครีบในอุปกรณ์ และช่วยเพิ่มประสิทธิภาพโดยรวมของการใช้งานการบำบัดความร้อนด้วยเซมิคอนดักเตอร์