ตัวรับสำหรับเครื่องปฏิกรณ์ MOCVD

ตัวรับของ Semicorex สำหรับเครื่องปฏิกรณ์ MOCVD เป็นผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการใช้งานที่หลากหลาย เช่น ชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์และเซมิคอนดักเตอร์เอพิทาซี ผลิตภัณฑ์ของเรามีจำหน่ายในรูปแบบเฟืองหรือวงแหวน และได้รับการออกแบบมาให้ต้านทานการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง ทำให้มีความเสถียรที่อุณหภูมิสูงถึง 1600°C

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

ตัวรับของเราสำหรับเครื่องปฏิกรณ์ MOCVD ผลิตขึ้นโดยการสะสมไอสารเคมี CVD ภายใต้สภาวะคลอรีนที่อุณหภูมิสูง เพื่อให้มั่นใจในความบริสุทธิ์สูง พื้นผิวของผลิตภัณฑ์มีความหนาแน่น มีอนุภาคละเอียดและมีความแข็งสูง ทำให้ทนทานต่อการกัดกร่อนต่อกรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์
ตัวรับของเราสำหรับเครื่องปฏิกรณ์ MOCVD ได้รับการออกแบบมาเพื่อให้แน่ใจว่ามีการเคลือบบนพื้นผิวทั้งหมด หลีกเลี่ยงการหลุดลอก และได้รูปแบบการไหลของก๊าซแบบลามิเนตที่ดีที่สุด ผลิตภัณฑ์รับประกันความสม่ำเสมอของโปรไฟล์การระบายความร้อน และป้องกันการปนเปื้อนหรือการแพร่กระจายของสิ่งเจือปนในระหว่างกระบวนการ เพื่อให้มั่นใจถึงผลลัพธ์คุณภาพสูง
ที่ Semicorex เราให้ความสำคัญกับความพึงพอใจของลูกค้าและนำเสนอโซลูชั่นที่คุ้มค่า เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ นำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและการบริการลูกค้าที่เป็นเลิศ

พารามิเตอร์ของตัวรับสำหรับเครื่องปฏิกรณ์ MOCVD

ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC
คุณสมบัติ SiC-CVD
โครงสร้างคริสตัล	เฟส FCC β
ความหนาแน่น	กรัม/ซม. ³	3.21
ความแข็ง	ความแข็งของวิคเกอร์	2500
ขนาดเกรน	ไมโครเมตร	2~10
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	%	99.99995
ความจุความร้อน	เจ กก-1 K-1	640
อุณหภูมิระเหิด	℃	2700
ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์	MPa (RT 4 จุด)	415
โมดูลัสของยัง	เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C)	430
การขยายตัวทางความร้อน (C.T.E)	10-6K-1	4.5
การนำความร้อน	(W/mK)	300

คุณลักษณะของตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiC สำหรับ MOCVD

- หลีกเลี่ยงการลอกออกและเคลือบให้ทั่วทุกพื้นผิว
ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง: เสถียรที่อุณหภูมิสูงถึง 1600°C
ความบริสุทธิ์สูง: เกิดจากการสะสมไอสารเคมี CVD ภายใต้สภาวะคลอรีนที่อุณหภูมิสูง
ความต้านทานการกัดกร่อน: ความแข็งสูง พื้นผิวหนาแน่น และอนุภาคละเอียด
ความต้านทานการกัดกร่อน: กรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์
- บรรลุรูปแบบการไหลของก๊าซแบบลามินาร์ที่ดีที่สุด
- รับประกันความสม่ำเสมอของโปรไฟล์ความร้อน
- ป้องกันการปนเปื้อนหรือการแพร่กระจายของสิ่งสกปรก