อัล 2O3 สุญญากาศ Chucks

Semicorex Al2O3 สุญญากาศ Chucks เป็นอุปกรณ์ดูดซับเซรามิก microporous ที่ทำจากอลูมินาสีดำที่มีความพรุน 35–40%ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการจัดการเวเฟอร์ในแอปพลิเคชันเซมิคอนดักเตอร์ การเลือก Semicorex หมายถึงได้รับประโยชน์จากเทคโนโลยีเซรามิกขั้นสูงวิศวกรรมความแม่นยำและคุณภาพผลิตภัณฑ์ที่เชื่อถือได้ซึ่งมั่นใจได้ว่าประสิทธิภาพที่มั่นคงในการเรียกร้องสภาพแวดล้อมในห้องสะอาด*

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

Semicorex al₂o₃สุญญากาศ chucks เป็นส่วนประกอบเซรามิก microporous ที่มีความแม่นยำที่พัฒนาขึ้นสำหรับการจัดการเวเฟอร์การตรึงและการประมวลผลแอปพลิเคชันในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ทำจากอลูมินาสีดำที่มีรูพรุนควบคุม 35%-40%เป็นสื่อที่มีความเสถียรสะอาดและเชื่อถือได้มากสำหรับกระบวนการดูดซับสุญญากาศ Chuck รวมการประมวลผลเซรามิกของสารตั้งต้นลงบนพื้นผิวการทำงานโดยใช้เทคนิคการผลิตขั้นสูงเพื่อให้ประสิทธิภาพการดูดที่สอดคล้องกันสำหรับเวเฟอร์ที่เปราะบางของผู้ใช้ในระหว่างขั้นตอนกระบวนการที่สำคัญ

สีดำอลูมินา (al₂o₃)- มีความสมดุลที่เป็นเอกลักษณ์ของความแข็งแรงเชิงกลความแข็งและความต้านทานทางเคมีเมื่อเปรียบเทียบกับโลหะและโพลีเมอร์ โครงสร้าง microporous ได้รับการปรับให้เหมาะสมสำหรับความพรุนที่ควบคุมเพื่อให้การกระจายสูญญากาศที่สอดคล้องกันทั่วพื้นผิวของชัคสูญญากาศ การกระจายสูญญากาศที่สอดคล้องกันตลอดพื้นที่ผิวเต็มรูปแบบของเวเฟอร์ชัคลดความเข้มข้นของความเครียดในท้องถิ่นลดความเสี่ยงของการบิดเบือนเวเฟอร์การบิ่นขอบและการแตก ในขณะที่การผลิตเวเฟอร์ยังคงขยายขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางและรูปทรงเรขาคณิตและอุปกรณ์มีความเปราะบางมากขึ้นผลผลิตกระบวนการและการปรับปรุงความน่าเชื่อถือของเวเฟอร์กลายเป็นข้อกำหนดที่สำคัญ

ความพรุนที่ควบคุมได้ของ 35–40% แสดงถึงลักษณะสำคัญของชัคสูญญากาศนี้ เครือข่ายรูขุมขนที่ได้รับการปรับปรุงให้ดีที่สุดสามารถลดความปั่นป่วนในระหว่างการอพยพออกอากาศจากพื้นที่รูขุมขนและรักษาแรงถือไว้ในขณะที่รักษาความแข็งแรงเชิงกลและความทนทาน ในทางตรงกันข้ามตัวหนีบเชิงกลใช้แผ่นที่ทำให้เกิดจุดความเครียดที่มีการแปลและทำงานกับคุณสมบัติเชิงกลของเวเฟอร์แต่ละตัว พื้นผิวอลูมินา microporous จึงเหนือกว่าในการถือเวเฟอร์แบนและไม่ลงรอยกันในระหว่างวิธีการทางกล สิ่งนี้ทำให้ผู้สมัครที่สมบูรณ์แบบสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ไฮเทคที่ได้รับประโยชน์จากความเรียบของเวเฟอร์และการถือครองที่ราบรื่นรวมถึงการพิมพ์หินการแกะสลักการสะสมและมาตรวิทยา

จากมุมมองทางความร้อนวัสดุอลูมินาสีดำมีความสามารถที่ยอดเยี่ยมในการรักษาเสถียรภาพของมิติในช่วงอุณหภูมิสูง ด้วยค่าสัมประสิทธิ์ต่ำของการขยายตัวทางความร้อนชัคสูญญากาศสามารถรักษาความถูกต้องได้แม้ในระหว่างการทำความร้อนและการระบายความร้อนซึ่งเป็นสิ่งสำคัญเนื่องจากความผันผวนของอุณหภูมิอย่างรวดเร็วมักเกิดขึ้นในสภาพแวดล้อมการประมวลผลเวเฟอร์ ความแข็งและความต้านทานการสึกหรอของเซรามิกนี้ยังเพิ่มอายุการใช้งานที่ยาวนานของชัคลดความถี่ในการบำรุงรักษาสำหรับผู้ปฏิบัติงานอุปกรณ์และลดต้นทุนทั้งหมดของการเป็นเจ้าของ

ความเฉื่อยทางเคมีของเซรามิกอลูมินาเป็นอีกหนึ่งคุณสมบัติที่สำคัญ ในเซมิคอนดักเตอร์ Fabs ส่วนประกอบของอุปกรณ์จำเป็นต้องทนต่อสารเคมีที่ก้าวร้าวสารทำความสะอาดหรือสภาพแวดล้อมในพลาสมาโดยไม่เสื่อมสภาพ อลูมินาสีดำมีคุณสมบัติที่ยอดเยี่ยมสำหรับการต่อต้านการกัดกร่อนการเกิดออกซิเดชันและ/หรือการปนเปื้อนของพื้นผิวและยังคงรักษาโครงสร้างและความเสถียรของโครงสร้าง/phasic ในช่วงรอบการทำงานที่ตื่นเต้น สถานที่นี้ในสถานที่นี้ยังหมายความว่าเวเฟอร์ไม่ได้อยู่ภายใต้การปนเปื้อนซึ่งปกป้องวงจรจากการทำงานของอุปกรณ์เหล่านั้นและยังเชื่อถือโปรโตคอลห้องทำความสะอาด

ไม่เพียง แต่สุญญากาศของอัล₂o₃จะมีประสิทธิภาพการทำงานที่ยอดเยี่ยมเท่านั้น เสร็จสิ้นการสร้างโดยใช้การตัดเฉือนที่มีความแม่นยำสูงและกระบวนการขัดเงาที่ให้ความเรียบและความเรียบเนียนสม่ำเสมอเพื่อให้เวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนสามารถถือได้โดยไม่มีรอยขีดข่วนหรือความเสียหายของพื้นผิว ความพรุนที่ได้รับการออกแบบอย่างสูงของวัสดุให้ความสมดุลที่เหมาะสมระหว่างการดูดและการป้องกันพื้นผิวทำให้สามารถยึดแรงที่เพียงพอบนเวเฟอร์ในขณะที่หลีกเลี่ยงความเสียหายใด ๆ กับพื้นผิวที่บางและเปราะ

จากมุมมองการดำเนินงาน chucks สุญญากาศAl₂o₃เป็นองค์ประกอบที่สำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ร่วมสมัย มันอำนวยความสะดวกในระบบอัตโนมัติช่วยให้เวเฟอร์ได้รับการวางวางตำแหน่งและประมวลผลตามข้อกำหนดของกระบวนการอย่างน่าเชื่อถือ สีดำของอลูมินายังช่วยและให้ข้อได้เปรียบในทางปฏิบัติโดยการลดการสะท้อนแสงในระหว่างการตรวจสอบด้วยแสงและกระบวนการวัดโดยเฉพาะอย่างยิ่งที่ใช้อุปกรณ์ออพติคอลที่มีความแม่นยำสูง

การผสมผสานเทคโนโลยีเซรามิกขั้นสูงเข้ากับการออกแบบที่ได้รับการพิจารณาอย่างดีได้ให้ผลในการแก้ปัญหาสุญญากาศของอัล₂o₃ซึ่งเป็นโซลูชันที่มีประสิทธิภาพสูงและมีประสิทธิภาพสูงสำหรับความท้าทายในการจัดการเวเฟอร์ของผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ สุญญากาศอัล₂o₃ช่วยเพิ่มผลผลิตผ่านการสูญเสียเวเฟอร์ลดลงลดเวลาการหยุดทำงานเนื่องจากความทนทานและเพิ่มความมั่นคงของกระบวนการโดยให้กำลังเก็บสูญญากาศที่สอดคล้องกัน

Semicorex al₂o₃สุญญากาศ chucks ที่ทำจาก microporous สีดำอลูมินาเป็นมากกว่าแค่การติดตั้ง มันเป็นตัวกระตุ้นที่สำคัญของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความแม่นยำ ด้วยความพรุนที่ดีที่สุดคุณสมบัติของวัสดุที่ยอดเยี่ยมและประสิทธิภาพที่แข็งแกร่งทำให้มั่นใจได้ว่าการจัดการเวเฟอร์ที่เชื่อถือได้ในกระบวนการผลิตที่ต้องการมากที่สุด สำหรับผู้ผลิตที่ต้องการให้ได้ผลผลิตที่สูงขึ้นประสิทธิภาพของกระบวนการที่ดีขึ้นและประสิทธิภาพของอุปกรณ์ที่เหนือกว่าเครื่องดูดฝุ่นอะลูมิเนียมสีดำเป็นตัวเลือกที่ขาดไม่ได้