อลูมินา chucks ที่มีรูพรุน

Semicorex Porous Alumina Chucks สร้างขึ้นเพื่อวัตถุประสงค์สำหรับเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนที่สุด การออกแบบที่มีรูพรุนของพวกเขาให้ความมั่นใจในการกระจายสูญญากาศที่สอดคล้องกันทั่วพื้นผิวชัคซึ่งช่วยลดความเครียดในท้องถิ่นที่ลดลงและช่วยในการป้องกันการบิ่นขอบและการแตก การยึดเชิงกล (ของแข็งหรืออื่น ๆ ) ไม่ได้ผลเท่าเครือข่าย microporous ซึ่งถือเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนแม้โดยไม่ต้องมีความเครียดทางกล จำกัด ในขณะเดียวกันก็แก้ไขเวเฟอร์อย่างปลอดภัยเนื่องจากโครงสร้าง microporous ป้องกันการสึกหรอ ความต้องการการดูดซับที่สม่ำเสมอทั่วทั้งพื้นผิวชัคนั้นมีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับเวเฟอร์ที่มีขนาดใหญ่ขึ้นและบางกว่าซึ่งสามารถทนต่อความเครียดได้น้อยลงในระหว่างการจัดการอัตโนมัติและในขณะที่ดำเนินการขั้นตอนการประมวลผลที่แม่นยำสูง

ได้รับการปรับให้เหมาะสมสำหรับความพรุน 35-40% Chuck พัฒนาเครือข่ายของรูขุมขนที่เชื่อมต่อระหว่างกันซึ่งทำหน้าที่อพยพออกอากาศในขณะที่ให้ความแข็งแรงเชิงกลเพียงพอที่จะยึดเวเฟอร์ไว้กับกองกำลังกระบวนการ ซึ่งหมายความว่าแรงดูดสูญญากาศยังคงมีเสถียรภาพในขณะที่เคลื่อนย้ายเวเฟอร์แม้จะอยู่ในระหว่างการสืบทอดอย่างรวดเร็วในขณะที่ดำเนินการตามลำดับกระบวนการที่ซับซ้อน การดูดซับภายในเครือข่าย microporous ให้ความเสถียรมากกว่าผ่านการสร้างความแตกต่างของความดันภายในระบบสูญญากาศ

อลูมินาสีดำ (al₂o₃) ตัวเองเป็นวัสดุที่ดีที่สุดเพราะมันยากทนต่อการสึกหรอและเฉื่อยทางเคมี มันจะไม่ลดระดับพื้นผิวที่เห็นได้และไม่ได้รับผลกระทบผ่านรอบซ้ำของเวเฟอร์ (การดูดซับ/ การดูดซับสูญญากาศ) สีดำอลูมินามีความเสถียรในมิติดังนั้นจะไม่เปลี่ยนแปลงแม้จะมีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่เกิดขึ้นตามธรรมชาติในระหว่างกระบวนการ (ความร้อนและการระบายความร้อน) หรือในสภาพแวดล้อม

ความต้านทานทางเคมีเป็นข้อได้เปรียบที่สำคัญอีกประการหนึ่งของอลูมินาสีดำ ชัคสามารถทำงานได้ในสภาพแวดล้อมการทำความสะอาดเชิงรุกพลาสมาและสภาพแวดล้อมการแกะสลักโดยไม่ลดทอนความสมบูรณ์ของโครงสร้าง ความเฉื่อยของมันช่วยป้องกันการปนเปื้อนของพื้นผิวเวเฟอร์ทำให้มั่นใจได้ว่าความบริสุทธิ์ของกระบวนการสูงและการยึดมั่นในมาตรฐานห้องทำความสะอาด

โครงสร้าง microporous ยังมีพื้นผิวที่สนับสนุนที่ช่วยลดความเข้มข้นของความเครียดในเวเฟอร์บางและเปราะ ควบคู่ไปกับความเรียบของพื้นผิวที่แม่นยำและผิวที่เรียบเนียนอลูมินาที่มีรูพรุนจะลดการเกิดขึ้นของรอยแตกขนาดเล็กและรอยขีดข่วนที่สามารถลดความสมบูรณ์ของเวเฟอร์ได้

อลูมินาเซรามิกมีความแข็งที่ยอดเยี่ยมความแข็งแรงเชิงกลสูงสัมประสิทธิ์ความร้อนต่ำของการขยายตัวและความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมทำให้เป็นวัสดุที่ใช้งานได้จริงสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ที่แม่นยำ นอกจากนี้ความเฉื่อยทางเคมีของมันหมายความว่ามันสามารถทนต่อกรดอัลคาลิสและพลาสมาในขณะที่คุณสมบัติการสึกหรอของการสึกหรอช่วยให้มั่นใจได้ถึงความทนทานข้อได้เปรียบเหล่านี้ทำให้อลูมินาเป็นวัสดุที่เลือกสำหรับการดูดฝุ่น microporous และให้ทั้งความน่าเชื่อถือและการคาดการณ์ประสิทธิภาพ

โดยสรุปแล้วอลูมินาที่มีรูพรุน chucks ได้รับการออกแบบมาเพื่อจัดหาการจัดการเวเฟอร์ที่สม่ำเสมอและรอดชีวิตได้ โครงสร้างอลูมินาสีดำ microporous นำเสนอแม้กระทั่งการดูดซับสูญญากาศ (ความสม่ำเสมอ) ในขณะที่ลดความเครียดเชิงกลและการลดความเสียหายของแผ่นเวเฟอร์ ในฐานะที่เป็นชัคความพรุนที่สำคัญและเหมาะสมที่สุดพร้อมกับคุณสมบัติทางความร้อนเชิงกลและสารเคมีที่โดดเด่นช่วยเพิ่มประสิทธิภาพความปลอดภัยของเวเฟอร์ค่าและความน่าเชื่อถือของการทำงานในสภาพการผลิตที่รุนแรง การผสมผสานที่ยอดเยี่ยมของการจัดการที่แข็งแกร่งเครื่องแบบและปลอดภัยที่อลูมินาที่มีรูพรุน chucks สามารถให้ผู้ผลิตได้นั้นหายากและไม่เหมือนใคร