หัวจับซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex ได้รับการออกแบบเป็นพิเศษสำหรับอุปกรณ์การพิมพ์หินด้วยแสงและมีข้อดีหลายประการ เช่น ความแม่นยำสูง น้ำหนักเบาเป็นพิเศษ ความแข็งสูง ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนต่ำ และความต้านทานการสึกหรอที่ดีเยี่ยม
เซมิคอร์เร็กซ์หัวจับซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นอุปกรณ์ดูดซับหน้าที่ผลิตจากซิลิคอนคาร์ไบด์(SiC) วัสดุเซรามิก ส่วนใหญ่จะใช้ในเซมิคอนดักเตอร์ เซลล์แสงอาทิตย์ การผลิตที่มีความแม่นยำ และสถานการณ์อื่นๆ ที่มีความต้องการที่สูงมากสำหรับการทนต่ออุณหภูมิสูง ความต้านทานการสึกหรอ ความต้านทานการกัดกร่อนของสารเคมี และความสะอาดของวัสดุ
วัสดุเซรามิก SiC มีความทนทานต่ออุณหภูมิสูงและรักษาเสถียรภาพของโครงสร้างในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง การนำความร้อนที่ดีเยี่ยมช่วยให้กระจายความร้อนที่เกิดขึ้นระหว่างการดูดซับได้อย่างรวดเร็ว ช่วยป้องกันชิ้นงานร้อนเกินไป ความแข็งพิเศษของวัสดุทำให้เหมาะสำหรับการจับชิ้นงานที่หยาบหรือแข็ง นอกจากนี้ ความเฉื่อยทางเคมีของวัสดุเซรามิก SiC ทำให้ทนทานต่อการกัดกร่อนด้วยกรดแก่ ด่างแก่ และตัวทำละลายอินทรีย์ ประสิทธิภาพการตกตะกอนสิ่งเจือปนต่ำของวัสดุนี้หลีกเลี่ยงการปนเปื้อนสิ่งเจือปนและยืดเวลาการทำงานตามปกติของอุปกรณ์ เป็นไปตามข้อกำหนดด้านการทำความสะอาดขั้นสูงของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
ลักษณะเฉพาะของหัวจับซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex
1. ความแม่นยำสูง: ความเรียบคือ0.3-0.5μm
2.ขัดกระจก
3.น้ำหนักเบาเป็นพิเศษ
4. ความแข็งสูง
5. ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ
6. ทนต่อการสึกหรอได้ดีเยี่ยม
สถานการณ์การใช้งานหัวจับซิลิคอนคาร์ไบด์
การผลิตสารกึ่งตัวนำ
การถ่ายโอนและการประมวลผลเวเฟอร์: ในกระบวนการต่างๆ เช่น การพิมพ์หินด้วยแสงและการแกะสลัก เวเฟอร์จะต้องได้รับการดูดซับอย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมสุญญากาศเพื่อหลีกเลี่ยงข้อผิดพลาดในการเคลื่อนที่
ความต้านทานการกัดกร่อนของพลาสมา: ในกระบวนการกัดเซมิคอนดักเตอร์ ความต้านทานการกัดกร่อนที่ดีเยี่ยมสามารถยืดอายุการใช้งานของผลิตภัณฑ์ได้
การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์
การตัดเวเฟอร์ซิลิคอน: ดูดซับเวเฟอร์ซิลิกอนเพื่อต้านทานแรงสั่นสะเทือนจากการตัด และลดอัตราการแตกตัวของเวเฟอร์ซิลิกอน
การผลิตเลนส์ที่แม่นยำและอิเล็กทรอนิกส์
การประมวลผลซับสเตรตแซฟไฟร์: พื้นผิวแซฟไฟร์ที่ใช้ในการผลิตชิป LED จำเป็นต้องมีการดูดซับแบบสุญญากาศ แรงดูดซับจะต้องเอาชนะน้ำหนักของพื้นผิวและหลีกเลี่ยงการเกิดรอยขีดข่วนบนพื้นผิวของผลิตภัณฑ์
หัวจับซิลิคอนคาร์ไบด์กลายเป็นวัสดุสิ้นเปลืองหลักในด้านการผลิตระดับไฮเอนด์เนื่องจากประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยม ซึ่งส่งเสริมความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ เซลล์แสงอาทิตย์ และการผลิตแบบแยกส่วน