เครื่องทำความร้อน

เครื่องทำความร้อน Semicorex Aln สำหรับเซมิคอนดักเตอร์เป็นอุปกรณ์ที่ใช้สำหรับความร้อนวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ ส่วนใหญ่ทำจากอลูมิเนียมไนไตรด์เซรามิกวัสดุมีค่าการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมและความต้านทานอุณหภูมิสูงและสามารถทำงานได้อย่างเสถียรที่อุณหภูมิสูง เครื่องทำความร้อนมักจะใช้สายความต้านทานเป็นองค์ประกอบความร้อน ด้วยการเพิ่มพลังให้กับสายความต้านทานที่จะทำให้ความร้อนสูงขึ้นความร้อนจะถูกถ่ายโอนไปยังพื้นผิวของเครื่องทำความร้อนเพื่อให้ได้ความร้อนของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องทำความร้อน Aln สำหรับเซมิคอนดักเตอร์มีบทบาทสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และสามารถใช้ในกระบวนการต่าง ๆ เช่นการเจริญเติบโตของคริสตัลการหลอมและการอบ

ในกระบวนการ front-end (FEOL) ของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์จะต้องดำเนินการรักษากระบวนการต่าง ๆ บนเวเฟอร์โดยเฉพาะอย่างยิ่งการให้ความร้อนกับเวเฟอร์ถึงอุณหภูมิที่แน่นอนและมีข้อกำหนดที่เข้มงวดเนื่องจากความสม่ำเสมอของอุณหภูมิมีอิทธิพลสำคัญมากต่อผลผลิตผลิตภัณฑ์ ในเวลาเดียวกันอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์จะต้องทำงานในสภาพแวดล้อมที่มีก๊าซสูญญากาศพลาสมาและก๊าซเคมีซึ่งต้องใช้เครื่องทำความร้อนเซรามิก (เครื่องทำความร้อนเซรามิก) เครื่องทำความร้อนเซรามิกเป็นส่วนประกอบสำคัญของอุปกรณ์การสะสมฟิล์มบางเซมิคอนดักเตอร์ พวกเขาจะใช้ในห้องกระบวนการและติดต่อเวเฟอร์โดยตรงเพื่อพกพาและเปิดใช้งานเวเฟอร์เพื่อให้ได้อุณหภูมิที่มั่นคงและสม่ำเสมอและเพื่อตอบสนองและสร้างฟิล์มบาง ๆ บนพื้นผิวเวเฟอร์ที่มีความแม่นยำสูง

อุปกรณ์สะสมฟิล์มบางสำหรับเครื่องทำความร้อนเซรามิกใช้วัสดุเซรามิกตามอลูมิเนียมไนไตรด์ (Aln)เนื่องจากอุณหภูมิสูงที่เกี่ยวข้อง อลูมิเนียมไนไตรด์มีฉนวนไฟฟ้าและการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยม นอกจากนี้ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของมันอยู่ใกล้กับซิลิคอนและมีความต้านทานต่อพลาสมาที่ยอดเยี่ยมทำให้เหมาะสำหรับใช้เป็นส่วนประกอบอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

เครื่องทำความร้อน Aln รวมถึงฐานเซรามิกที่มีเวเฟอร์และร่างกายรองรับรูปทรงกระบอกที่รองรับด้านหลัง ภายในหรือบนพื้นผิวของฐานเซรามิกนอกเหนือจากองค์ประกอบความต้านทาน (ชั้นความร้อน) สำหรับการให้ความร้อนแล้วยังมีอิเล็กโทรด RF (ชั้น RF) เพื่อให้ได้ความร้อนและความเย็นอย่างรวดเร็วความหนาของฐานเซรามิกควรจะผอม แต่บางเกินไปก็จะลดความแข็งแกร่งได้เช่นกัน ร่างกายสนับสนุนของเครื่องทำความร้อน ALN นั้นทำจากวัสดุที่มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนคล้ายกับฐานดังนั้นร่างกายที่สนับสนุนมักทำจากอลูมิเนียมไนไตรด์ เครื่องทำความร้อน ALN ใช้โครงสร้างที่เป็นเอกลักษณ์ของก้นเพลา (เพลา) ด้านล่างเพื่อป้องกันเทอร์มินัลและสายไฟจากผลกระทบของพลาสมาและก๊าซเคมีกัดกร่อน มีช่องทางเข้าก๊าซความร้อนและท่อทางออกในร่างกายรองรับเพื่อให้แน่ใจว่าอุณหภูมิสม่ำเสมอของเครื่องทำความร้อน ฐานและร่างกายสนับสนุนถูกผูกมัดทางเคมีด้วยชั้นพันธะ

องค์ประกอบความร้อนความต้านทานถูกฝังอยู่ในฐานฮีตเตอร์ มันถูกสร้างขึ้นโดยการพิมพ์หน้าจอด้วย paste ตัวนำ (ทังสเตน, โมลิบดีนัมหรือแทนทาลัม) เพื่อสร้างรูปแบบวงจรวงกลมเกลียวหรือศูนย์กลาง แน่นอนสามารถใช้ลวดโลหะ, ตาข่ายโลหะ, ฟอยล์โลหะ ฯลฯ ได้ เมื่อใช้วิธีการพิมพ์หน้าจอแผ่นเซรามิกสองแผ่นที่มีรูปร่างเดียวกันจะถูกเตรียมและวางเครื่องนำไฟฟ้าจะถูกนำไปใช้กับพื้นผิวของหนึ่งในนั้น จากนั้นมันถูกเผาให้สร้างองค์ประกอบความร้อนแบบต้านทานและแผ่นเซรามิกอื่น ๆ จะทับซ้อนกับองค์ประกอบความร้อนแบบต้านทานเพื่อให้องค์ประกอบตัวต้านทานที่ฝังอยู่ในฐาน

ปัจจัยหลักที่มีผลต่อการนำความร้อนของเซรามิกอลูมิเนียมไนไตรด์คือความหนาแน่นของตาข่ายปริมาณออกซิเจนความบริสุทธิ์ของผงโครงสร้างจุลภาค ฯลฯ ซึ่งจะส่งผลกระทบต่อการนำความร้อนของเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์