เครื่องทำความร้อนอลูมิเนียมไนไตรด์

เครื่องทำความร้อนอลูมิเนียมไนไตรด์เซมิคอร์เป็นองค์ประกอบความร้อนเซรามิกที่ล้ำสมัยที่ออกแบบมาสำหรับการใช้งานที่ต้องการการนำความร้อนสูงฉนวนไฟฟ้าและความทนทานที่ยอดเยี่ยม ออกแบบมาจากอลูมิเนียมไนไตรด์เซรามิกเครื่องทำความร้อนเหล่านี้ให้ความร้อนอย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีความแม่นยำสูงเช่นการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์การวินิจฉัยทางการแพทย์และเครื่องมือวิเคราะห์ขั้นสูง

เครื่องทำความร้อนอลูมิเนียมไนไตรด์เป็นส่วนประกอบสำคัญในอุปกรณ์การสะสมฟิล์มบางเซมิคอนดักเตอร์ พวกเขาจะถูกนำไปใช้โดยตรงกับห้องกระบวนการและติดต่อโดยตรงกับเวเฟอร์ พวกเขาไม่เพียง แต่พกเวเฟอร์ แต่ยังตรวจสอบให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ได้รับ 

อุณหภูมิที่มั่นคงและสม่ำเสมอ คุณสมบัตินี้เป็นสิ่งจำเป็นสำหรับปฏิกิริยาที่มีความแม่นยำสูงบนพื้นผิวเวเฟอร์และการสร้างฟิล์มบาง ๆ

โดยทั่วไปแล้วเครื่องทำความร้อนอลูมิเนียมไนไตรด์จะมีสารตั้งต้นเซรามิกที่มีพื้นผิวการโหลดเวเฟอร์และร่างกายรองรับทรงกระบอกที่รองรับด้านหลัง นอกเหนือจากวงจรความร้อนแบบต้านทานสำหรับการให้ความร้อนแล้วอิเล็กโทรด RF และอิเล็กโทรดเชยไฟฟ้าสถิตและตัวนำอื่น ๆ ยังมีอยู่ภายในหรือบนพื้นผิวของสารตั้งต้นเซรามิก

อุปกรณ์การสะสมฟิล์มบางมักใช้วัสดุเซรามิกตามอลูมิเนียมไนไตรด์ (Aln)เพราะมันเกี่ยวข้องกับสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูง เหตุผลที่เครื่องทำความร้อนอลูมิเนียมไนไตรด์ได้รับการสนับสนุนในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ส่วนใหญ่เกิดจากคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมีที่เป็นเอกลักษณ์ อลูมิเนียมไนไตรด์ไม่เพียง แต่มีค่าการนำความร้อนสูงและสามารถให้ความร้อนและความเย็นได้อย่างรวดเร็วในเวลาอันสั้น แต่ยังมีฉนวนไฟฟ้าที่ดีและความแข็งแรงเชิงกลทำให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรและความน่าเชื่อถือของเครื่องทำความร้อน นอกจากนี้ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของอลูมิเนียมไนไตรด์นั้นคล้ายคลึงกับซิลิคอนซึ่งช่วยลดผลกระทบของความเครียดจากความร้อนต่อเวเฟอร์และปรับปรุงผลผลิตกระบวนการ

โดยทั่วไปพูดเครื่องทำความร้อนเซรามิกส่วนใหญ่จะใช้ในอุปกรณ์การสะสมฟิล์มบาง เนื่องจากมันเกี่ยวข้องกับกระบวนการอุณหภูมิสูงวัสดุเซรามิกที่ใช้ส่วนใหญ่เป็นอลูมิเนียมไนไตรด์; chucks ไฟฟ้าสถิตส่วนใหญ่ใช้ในอุปกรณ์แกะสลักและวัสดุเซรามิกที่ใช้เป็นส่วนใหญ่อลูมิเนียมออกไซด์ ด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์มีการทับซ้อนกันระหว่างเครื่องทำความร้อนเซรามิกและ chucks ไฟฟ้าสถิต ตัวอย่างเช่นเครื่องทำความร้อนเซรามิกที่ใช้ในอุปกรณ์การสะสมฟิล์มบางมาพร้อมกับ chucks ไฟฟ้าสถิตซึ่งมีฟังก์ชั่นคู่ของความร้อนอุณหภูมิสูงและการดูดซับไฟฟ้าสถิต chucks ไฟฟ้าสถิตที่ใช้ในอุปกรณ์แกะสลักก็เริ่มเกี่ยวข้องกับกระบวนการอุณหภูมิสูงและวัสดุเซรามิกจะต้องเปลี่ยนจากอลูมิเนียมออกไซด์เป็นอลูมิเนียมไนไตรด์