เอฟเฟคเตอร์ปลายเซรามิก

Ceramic End Effector คือมือของหุ่นยนต์ที่เคลื่อนย้ายเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ระหว่างตำแหน่งในอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์และตัวพา End effector ต้องมีมิติที่แม่นยำและมีเสถียรภาพทางความร้อน ในขณะที่มีพื้นผิวที่เรียบและทนต่อการขีดข่วนเพื่อจัดการกับแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างปลอดภัยโดยไม่ทำลายอุปกรณ์หรือสร้างการปนเปื้อนของอนุภาค Ceramic End Effector ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงของเราให้การต้านทานความร้อนที่เหนือกว่า แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนสำหรับความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ และทนทานต่อสารเคมี

ที่ Semicorex เรามุ่งเน้นที่การจัดหา Ceramic End Effector คุณภาพสูงและคุ้มราคา เราให้ความสำคัญกับความพึงพอใจของลูกค้าและจัดหาโซลูชันที่คุ้มค่า เราหวังว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ นำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและการบริการลูกค้าที่ยอดเยี่ยม

พารามิเตอร์ของ Ceramic End Effector

คุณสมบัติของ Ceramic End Effector ที่มีความบริสุทธิ์สูง

กราไฟต์เคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง

â ทนความร้อนและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่เหนือกว่า

â เคลือบคริสตัล SiC อย่างดีเพื่อพื้นผิวที่เรียบ

â ความทนทานสูงต่อการทำความสะอาดด้วยสารเคมี

â วัสดุได้รับการออกแบบมาเพื่อไม่ให้เกิดการแตกร้าวและการหลุดล่อน