เครื่องทำความร้อนกระบวนการเวเฟอร์

Semicorex เป็นผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ขนาดใหญ่ของตัวรับกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ในประเทศจีน เรามุ่งเน้นไปที่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เช่น ชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์และเซมิคอนดักเตอร์เอพิแทกซี เครื่องทำความร้อนกระบวนการ Wafer ของเรามีความได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

เครื่องทำความร้อนสำหรับกระบวนการ Semicorex Wafer ผลิตจากกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) การเคลือบถูกเคลือบโดยวิธี CVD กับเกรดเฉพาะของกราไฟท์ความหนาแน่นสูง จึงสามารถทำงานในเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูงกว่า 3000 °C ในบรรยากาศเฉื่อย 2200°C ในสุญญากาศ
คุณสมบัติพิเศษและมวลต่ำของวัสดุเครื่องทำความร้อนกระบวนการเวเฟอร์ช่วยให้อัตราการทำความร้อนรวดเร็ว การกระจายอุณหภูมิสม่ำเสมอ และความแม่นยำที่โดดเด่นในการควบคุม เมื่อเปรียบเทียบกับวัสดุอื่นๆ พื้นผิวของซิลิคอนคาร์ไบด์จะเรียบเสมอกันเนื่องจากมีการขยายตัวทางความร้อนต่ำ แม้ว่าจะทำงานโดยมีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วก็ตาม เตามีความเหมาะสมมากสำหรับกระบวนการที่มีความต้องการสูงในระบบการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์
ที่ Semicorex เรามุ่งเน้นในการนำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและคุ้มค่าแก่ลูกค้าของเรา เครื่องทำความร้อนกระบวนการเวเฟอร์ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาและส่งออกไปยังตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เรามุ่งมั่นที่จะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ นำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสม่ำเสมอและการบริการลูกค้าที่เป็นเลิศ

พารามิเตอร์ของเครื่องทำกระบวนการเวเฟอร์

ข้อกำหนดทางเทคนิค	เวท-M3
ความหนาแน่นรวม (g/cm3)	≥1.85
ปริมาณเถ้า (PPM)	≤500
ความแข็งฝั่ง	≥45
ความต้านทานจำเพาะ (μ.Ω.m)	≤12
กำลังรับแรงดัดงอ (Mpa)	≥40
กำลังอัด (Mpa)	≥70
สูงสุด ขนาดเกรน (ไมโครเมตร)	≤43
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน มม./°C	≤4.4*10-6

คุณลักษณะของเครื่องทำกระบวนการเวเฟอร์

- การเคลือบ CVD SiC เพื่อยืดอายุการใช้งาน
- ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน อายุการใช้งานยาวนาน สามารถปรับปรุงคุณภาพเวเฟอร์และผลผลิตได้
- มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำมาก ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการสึกหรอสูง ฉนวนที่ดี มีความเสถียรทางเคมีที่ดี และมีแสงทะลุผ่านที่มองเห็นได้ใกล้สีม่วง (สีแดง)

เราสามารถจัดหาเบ้าหลอมกราไฟท์ที่ป้องกันการเกิดออกซิเดชันและอายุการใช้งานยาวนาน แม่พิมพ์กราไฟท์ และชิ้นส่วนทั้งหมดของเครื่องทำความร้อนกราไฟท์