CVD SiC ตัวรับแพนเค้ก

สร้างขึ้นด้วยเทคโนโลยีการสะสมไอเคมี (CVD) ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ล่าสุด ตัวรับแพนเค้ก CVD SiC ของเรารับประกันความทนทานเป็นพิเศษและทนทานต่ออุณหภูมิที่สูงมาก การใช้ CVD SiC รับประกันความเสถียรทางความร้อนในระดับสูงสุดและการขยายตัวทางความร้อนน้อยที่สุด ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่อุณหภูมิสูง

ออกแบบมาเพื่อรองรับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ Pancake Susceptor ให้การรองรับที่แม่นยำในระหว่างกระบวนการสะสมอีพิเทกเซียล การออกแบบทางวิศวกรรมอย่างพิถีพิถันช่วยลดการบิดเบี้ยวหรือการบิดเบี้ยว ทำให้มั่นใจได้ถึงความหนาและคุณภาพของเวเฟอร์ที่สม่ำเสมอ

Pancake Susceptor ปรับการถ่ายเทความร้อนให้เหมาะสม เพิ่มความสม่ำเสมอของอุณหภูมิภายในเตาเผา ส่งผลให้คุณภาพการสะสมดีขึ้น และลดความแปรผันของกระบวนการ ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับมาตรฐานที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ลงทุนใน CVD SiC Pancake Susceptor วันนี้เพื่อยกระดับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของคุณ ไว้วางใจในความมุ่งมั่นอันแน่วแน่ของเราในด้านความแม่นยำและนวัตกรรม ในขณะที่เรากำหนดมาตรฐานใหม่สำหรับการรองรับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์แบบบางในระหว่างการสะสมอีพิแทกเซียล โอบรับอนาคตของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ด้วย CVD SiC Pancake Susceptor ที่ซึ่งความแม่นยำมาพบกับความสมบูรณ์แบบ