ไม้พายเซรามิก SiC

ไม้พายเซรามิก Semicorex SiC เป็นชิ้นส่วนขั้นสูงที่พัฒนาขึ้นสำหรับการใช้งานเตาเซมิคอนดักเตอร์อุณหภูมิสูง เช่น ออกซิเดชันและการแพร่กระจาย ไม้พายทำหน้าที่เป็นตัวรองรับคานยื่นเพื่อยึดและเคลื่อนย้ายเวเฟอร์ที่อุณหภูมิสูง ไม้พายเซรามิก Semicorex SiC ให้ส่วนประกอบเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีความแข็งแรงสูงแก่กระบวนการที่อุณหภูมิสูงซึ่งต้องการความน่าเชื่อถือ ความเสถียร และประสิทธิภาพตามที่ต้องการผ่านกระบวนการผลิต

ไม้พายผลิตจากความบริสุทธิ์สูงซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)ออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมทางความร้อนและเคมีที่ยากลำบากของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เมื่อเวเฟอร์ได้รับการบำบัดด้วยปฏิกิริยาออกซิเดชันและการแพร่กระจาย เวเฟอร์นั้นจะต้องสัมผัสกับอุณหภูมิที่สูงกว่า 1,000 องศาเซลเซียส รวมถึงก๊าซที่เกิดปฏิกิริยา เช่น ออกซิเจน ไอน้ำ หรือบรรยากาศที่มีสารเจือปน ที่อุณหภูมิเหล่านี้ ความสมบูรณ์ของโครงสร้างจะขึ้นอยู่กับความบริสุทธิ์ของวัสดุ

มีลักษณะเมื่อเวลาผ่านไป สมบัติทางความร้อนจำกัดการบิดงอและการแตกร้าวของวัสดุในระหว่างรอบการให้ความร้อนและความเย็นซ้ำๆ ขณะเดียวกันก็ช่วยยืดอายุการใช้งานในสภาพแวดล้อมการผลิต

มีลักษณะเมื่อเวลาผ่านไป สมบัติทางความร้อนจำกัดการบิดงอและการแตกร้าวของวัสดุในระหว่างรอบการให้ความร้อนและความเย็นซ้ำๆ ขณะเดียวกันก็ช่วยยืดอายุการใช้งานในสภาพแวดล้อมการผลิต

การประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต้องการสภาพแวดล้อมที่สะอาดเป็นพิเศษ เนื่องจากแม้แต่ปริมาณสิ่งสกปรกที่ติดตามได้ก็อาจส่งผลกระทบต่อผลผลิตและพฤติกรรมของอุปกรณ์ วัสดุ SiC ที่ใช้ในไม้พายมีการเคลือบ SiC แบบสะสมไอสารเคมี (CVD) ซึ่งส่งเสริมความบริสุทธิ์ของวัสดุสูงเป็นพิเศษพร้อมทั้งลดการปนเปื้อนของโลหะ ไม้พายเซรามิก SiC ยังคงสะอาดและมั่นคงตลอดอายุการใช้งาน เนื่องจากส่วนรองรับคานยื่น แป้นพายจึงต้องมีส่วนรองรับที่ปลอดภัยสำหรับตัวพาเวเฟอร์หรือเรือในระหว่างการใส่และถอดออกจากเตา เพราะการซิซีความแข็งแกร่งและความแข็งแกร่งโดยธรรมชาติของแผ่นเวเฟอร์ มีคุณสมบัติรับน้ำหนักที่ดีโดยมีการโก่งตัวน้อยที่สุด ซึ่งจำเป็นสำหรับการจัดการและการจัดตำแหน่งแผ่นเวเฟอร์อย่างเหมาะสม ในเตาออกซิเดชั่นและเตาแพร่กระจาย บรรยากาศที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสามารถโจมตีและทำให้วัสดุดั้งเดิมเสื่อมคุณภาพเมื่อเวลาผ่านไป แต่ SiC มีความสามารถในการรักษาความเสถียรทางเคมี ซึ่งจะช่วยยืดอายุการใช้งานของไม้พายได้ ส่งผลให้ค่าบำรุงรักษาและการเปลี่ยนทดแทนลดลงอย่างมาก เนื่องจากไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนหรือซ่อมแซมไม้พายเกือบบ่อยเท่าเดิม

นอกเหนือจากประสิทธิภาพแล้ว ยังมีความยืดหยุ่นในการปรับแต่งไม้พายสำหรับอุปกรณ์และกระบวนการเฉพาะอีกด้วย ขนาด ความคลาดเคลื่อน และการตกแต่งพื้นผิวสามารถยืดหยุ่นได้เพื่อให้มั่นใจว่าพอดีระหว่างการออกแบบเตาเผาและระบบการจัดการเวเฟอร์อื่นๆ ความสามารถในการบรรลุความแม่นยำของมิติในระดับสูงด้วยการตัดเฉือนเซรามิกอย่างแม่นยำยังช่วยให้สามารถผลิตไม้พายเพื่อให้ตรงตามรูปทรงที่ซับซ้อนได้ คุณสมบัติทั้งหมดนี้มีวัตถุประสงค์เพื่อให้การทำงานราบรื่นและบูรณาการเข้ากับสายการผลิตที่มีอยู่ได้อย่างง่ายดาย

เซรามิก ซิซีไม้พายที่มีความบริสุทธิ์สูง ความคงตัวทางความร้อน ความแข็งแรงเชิงกล และความทนทานต่อสารเคมี ถือเป็นวัสดุสำคัญในกระบวนการออกซิเดชันและการแพร่กระจายของเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยการมอบแพลตฟอร์มที่เสถียรและสะอาดสำหรับการถ่ายโอนเวเฟอร์ สิ่งเหล่านี้มีส่วนโดยตรงต่อการปรับปรุงผลผลิต ความสม่ำเสมอของกระบวนการ และประสิทธิภาพการผลิตโดยรวม