ไม้พาย SiC

ไม้พาย Semicorex SiC คือ "ตัวพา" ของเวเฟอร์ โดยจะนำเวเฟอร์เข้าเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูงกว่า 1,000 องศาเซลเซียส นี่คือคุณประโยชน์หลัก: มีความบริสุทธิ์สูง มีความเสถียรที่อุณหภูมิสูง เพื่อรักษาความแข็งแกร่งทางกลเมื่อขนส่งตัวอย่างในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง วัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูงมีประสิทธิภาพในการป้องกันไม่ให้สิ่งเจือปนที่เป็นโลหะปนเปื้อนแผ่นเวเฟอร์ ความเสถียรของอุณหภูมิสูงก็เช่นกันซิลิคอนคาร์ไบด์เนื่องจากจะรักษาความเสถียรทางเคมีที่อุณหภูมิการประมวลผลซึ่งป้องกันไม่ให้ก๊าซเจือปนหรืออนุภาคที่เป็นโลหะออกมาปนเปื้อนแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งจะทำให้ได้ผลผลิตแผ่นเวเฟอร์ที่เสถียร สุดท้ายนี้พายเท้าแขนยังเข้ากันได้กับระบบการถ่ายโอนเวเฟอร์ในตัว ซึ่งช่วยลดการพึ่งพามนุษย์และเพิ่มปริมาณงาน

SiC Paddles เป็นส่วนประกอบที่เป็นเอกลักษณ์ของตัวพา โดยเฉพาะสำหรับการขนส่งและการรวมเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์เข้ากับปริมาณงานแบบแบตช์ในกระบวนการต่างๆ เช่น ออกซิเดชันและการแพร่กระจายที่อุณหภูมิสูง และอื่นๆ อีกมากมาย ทำด้วยความบริสุทธิ์สูงซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)ไม้พาย SiC ให้ความเสถียรทางความร้อน ความแข็งแรงเชิงกล และความทนทานทางเคมี เพื่อให้มั่นใจในการเคลื่อนย้ายที่มีความเสถียรเหนืออุณหภูมิ 1000 °C ต้องใช้ไม้พาย SiC สำหรับการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ โดยจะช่วยให้แน่ใจว่าพื้นผิวที่เปราะบางสามารถจัดการได้อย่างเหมาะสม ในขณะเดียวกันก็รักษาความสมบูรณ์และความสม่ำเสมอตลอดกระบวนการออกซิเดชัน การแพร่กระจาย และการหลอมอ่อน

ไม้พาย SiC ได้รับการออกแบบให้มีความทนทานและเชื่อถือได้ เป็นแขนประเภทคานยื่นสำหรับยึดเรือเวเฟอร์หรือกองเวเฟอร์ ไม้พายรองรับเวเฟอร์ในขณะที่กำลังใส่หรือถอดออกจากห้องกระบวนการ วัสดุทั่วไปจะล้มเหลวที่อุณหภูมิสูงเนื่องจากการเสียรูป การบิดงอ หรือการย่อยสลายทางเคมี ความเสถียรทางกลและความสมบูรณ์ของโครงสร้างของซิลิคอนคาร์ไบด์ช่วยให้ไม้พายสามารถผ่านรอบความร้อนหลายรอบได้โดยไม่สูญเสียรูปร่างหรือการทำงาน ความสามารถนี้มีความสำคัญต่อการรักษาตำแหน่งของเตาเผา ทำให้มั่นใจได้ว่าแผ่นเวเฟอร์จะไม่ได้รับความเสียหายในระหว่างกระบวนการ และลดเวลาหยุดทำงานที่มีราคาแพงให้เหลือน้อยที่สุด

ความเสถียรทางความร้อนของไม้พาย SiC ได้รับการเสริมด้วยความทนทานต่อสารเคมีที่ดีเยี่ยมต่อก๊าซที่เกิดปฏิกิริยาซึ่งมักจะปรากฏในกระบวนการออกซิเดชันและการแพร่กระจาย (เช่น ออกซิเจน คลอรีน และสายพันธุ์ที่มีฤทธิ์รุนแรงอื่นๆ ที่อุณหภูมิสูง) วัสดุหลายชนิดจะถูกทำลายหรือปนเปื้อนเมื่อสัมผัสกับอุณหภูมิและออกซิเจนที่สูง ซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นสารเฉื่อยทางเคมีและโครงสร้างจุลภาคที่มีความหนาแน่นทำให้มั่นใจได้ว่าจะไม่เกิดปฏิกิริยาเคมีขึ้น ทำให้ทั้งโครงสร้างไม้พายมีความสมบูรณ์และสภาพแวดล้อมที่สะอาดสำหรับแผ่นเวเฟอร์ ความเสี่ยงที่ตามมาของการปนเปื้อนจะถูกจำกัดให้เหลือน้อยที่สุดสำหรับผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทำงานที่โหนดกระบวนการที่ทันสมัยที่สุด ซึ่งแม้แต่องค์ประกอบการติดตามของการปนเปื้อนก็สามารถทำให้เกิดการเปลี่ยนแปลงที่สำคัญในประสิทธิภาพของอุปกรณ์ได้

ความสมบูรณ์ทางกลที่เกี่ยวข้องกับไม้พาย SiC ยังให้คุณค่าในกระบวนการจัดการอีกด้วย รูปแบบโครงสร้างคานยื่นต้องใช้วัสดุที่สามารถรับน้ำหนักของชั้นซ้อนได้ และไม่งอหรือหย่อน โมดูลัสที่สูงมากของซิลิคอนคาร์ไบด์และความแข็งสูงมาก ทำให้เป็นตัวเลือกที่ดีสำหรับฟังก์ชันโครงสร้างทางกลที่จำเป็น ไม้พาย SiC ยังคงความเรียบและโครงสร้างไว้แม้จะเต็มไปด้วยเวเฟอร์ก็ตาม นี่หมายถึงการควบคุมเตาเผาและสภาวะอย่างต่อเนื่องตลอดระยะเวลาการผลิตที่ยาวนาน