Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาปิดห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสุญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
เครื่องทำความร้อน Semicorex PBN มีการออกแบบสามชั้นที่ซับซ้อนซึ่งออกแบบมาเพื่อกำหนดมาตรฐานประสิทธิภาพใหม่ หัวใจสำคัญของมันคือรากฐานที่สร้างขึ้นจากไพโรไลติกโบรอนไนไตรด์ (PBN) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งมีชื่อเสียงในด้านการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมและความสมบูรณ์ของโครงสร้างที่แข็งแกร่ง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex Wafer Boat Carrier ถือเป็นจุดสุดยอดของนวัตกรรมในขอบเขตของการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ สร้างขึ้นอย่างพิถีพิถันจากกราไฟท์และเสริมความแข็งแรงด้วยการเคลือบที่ล้ำสมัยของการเคลือบด้วยไอเคมี (CVD) ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ตัวพานี้เป็นตัวอย่างที่ดีของวิศวกรรมที่มีความแม่นยำและวิทยาศาสตร์วัสดุขั้นสูง Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex Baffle Wafer Boat เป็นอุปกรณ์ขั้นสูงที่ใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนสำคัญของการผลิต Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามหัวจับสุญญากาศ Semicorex SiC แสดงถึงจุดสุดยอดของวิศวกรรมที่มีความแม่นยำซึ่งปรับแต่งมาสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความต้องการสูง สร้างขึ้นจากพื้นผิวกราไฟต์และปรับปรุงด้วยเทคนิคการสะสมไอสารเคมี (CVD) อันล้ำสมัย อุปกรณ์ที่เป็นนวัตกรรมใหม่นี้ผสานรวมคุณสมบัติที่ไม่มีใครเทียบได้ของการเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ได้อย่างราบรื่น Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex SiC Wafer Chuck ถือเป็นจุดสุดยอดของนวัตกรรมในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยทำหน้าที่เป็นส่วนประกอบสำคัญในกระบวนการที่ซับซ้อนของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ หัวจับนี้สร้างขึ้นด้วยความแม่นยำอันพิถีพิถันและเทคโนโลยีล้ำสมัย โดยมีบทบาทสำคัญในการรองรับและทำให้เวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) มีเสถียรภาพในระหว่างขั้นตอนการผลิตต่างๆ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแขนหุ่นยนต์ Semicorex Zirconia ZrO2 ซึ่งเป็นส่วนประกอบสำคัญในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์เพื่อการถ่ายโอนและการจัดการเวเฟอร์ที่ราบรื่น แขนเซรามิกนี้สร้างขึ้นมาเพื่อทนทานต่อความต้องการอันเข้มงวดของสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง กัดกร่อน และมีฤทธิ์กัดกร่อน โดยมีความทนทานและความน่าเชื่อถือที่ไม่มีใครเทียบได้ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม