Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสูญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
ตัวยึดอลูมินา Semicorex เป็นส่วนสำคัญในการสร้างอุปกรณ์ที่ใช้ในการสะสมไอสารเคมี (CVD) การฝังไอออน การพิมพ์หินด้วยแสง และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามเพลาปั๊ม Semicorex SiC โดดเด่นด้วยประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่เหนือชั้นในฐานะส่วนประกอบสำคัญของปั๊มแม่เหล็ก ปั๊มชีลด์ ปั๊มหลายใบพัด ปั๊มไฮดรอลิก ปั๊มเคมี และเครื่องหมุนเหวี่ยง
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามออกแบบมาเพื่อทนต่อสภาวะที่รุนแรง AlN Ceramic Crucible ที่นำเสนอโดย Semicorex เป็นเครื่องมือที่ขาดไม่ได้สำหรับมืออาชีพที่ทำงานกับโลหะที่ไม่ใช่เหล็กและวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ เช่น แกลเลียมอาร์เซไนด์
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามเรืออลูมินาโดย Semicorex ค้นพบช่องทางเฉพาะในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องจักรทั่วไป และกระบวนการที่อุณหภูมิสูง ซึ่งพิสูจน์ได้ว่าขาดไม่ได้สำหรับมืออาชีพที่แสวงหาความน่าเชื่อถือและความแม่นยำ
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแผ่นเซรามิก Semicorex SiC มอบประสิทธิภาพที่ไม่มีใครเทียบได้ในสภาพแวดล้อมที่ต้องการความต้านทานการสึกหรอ ความต้านทานการกัดกร่อน และความเสถียรที่อุณหภูมิสูง ผลิตภัณฑ์นี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อใช้เป็นแผ่นรองซับและชิ้นส่วนรองรับในการใช้งานที่มีความต้องการหลากหลาย
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามจานเซรามิก Semicorex AlN โดดเด่นในฐานะวัสดุที่มีความสามารถเป็นพิเศษ โดยได้รับรางวัลจากการผสมผสานคุณสมบัติทางความร้อน ทางกล และทางไฟฟ้าอย่างมีเอกลักษณ์ ที่ Semicorex เราอยู่ในระดับแนวหน้าในการผลิตจานเซรามิก AlN เพื่อให้มั่นใจว่าส่วนประกอบเหล่านี้ตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของเทคโนโลยีสมัยใหม่และการใช้งานทางอุตสาหกรรม**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม