Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสูญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
ปลอก Si3N4 จาก Semicorex เป็นวัสดุอเนกประสงค์และประสิทธิภาพสูงที่นำเสนอการผสมผสานที่เป็นเอกลักษณ์ของความหนาแน่นต่ำ ความแข็งที่เหนือกว่า ความต้านทานการสึกหรอที่ดีเยี่ยม และความเสถียรทางความร้อนและสารเคมีที่ยอดเยี่ยม**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามฟังก์ชันหลักของหัวจับสูญญากาศเซรามิก Semicorex Porous อยู่ที่ความสามารถในการให้การซึมผ่านของอากาศและน้ำสม่ำเสมอ ซึ่งเป็นคุณลักษณะที่ช่วยให้เกิดการกระจายแรงเค้นที่สม่ำเสมอและการยึดเกาะที่แข็งแกร่งของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน คุณลักษณะนี้มีความสำคัญในระหว่างกระบวนการบด เนื่องจากจะป้องกันไม่ให้แผ่นเวเฟอร์ลื่นไถล จึงช่วยรักษาความสมบูรณ์ของการทำงาน**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามท่อ Semicorex Alumina เป็นส่วนประกอบสำคัญในการใช้งานทางอุตสาหกรรมที่หลากหลาย โดยมีชื่อเสียงในด้านความสามารถในการทนต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรงและอุณหภูมิสูง**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแผ่นเซรามิก PBN โดย Semicorex ถูกสังเคราะห์ผ่านกระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) ที่ซับซ้อน โดยใช้โบรอนไตรคลอไรด์ (BCl3) และแอมโมเนีย (NH3) ที่อุณหภูมิสูงและความดันต่ำ วิธีการสังเคราะห์นี้ส่งผลให้ได้วัสดุที่มีความบริสุทธิ์และความสมบูรณ์ของโครงสร้างเป็นพิเศษ ทำให้เป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้สำหรับการใช้งานที่หลากหลายภายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามถ้วยใส่ตัวอย่าง Semicorex ZrO2 ผลิตจากเซรามิกเซอร์โคเนียที่มีความเสถียร โดยมีองค์ประกอบมาตรฐานคือเซอร์โคเนียมไดออกไซด์ (ZrO2) 94.7% และอิตเทรียมออกไซด์ (Y2O3) 5.2% โดยเปอร์เซ็นต์โดยน้ำหนัก หรืออีกทางหนึ่งคือ 97% ZrO2 และ 3% Y2O3 โดยเปอร์เซ็นต์โมล สูตรที่แม่นยำนี้ทำให้ ZrO2 Crucible มีคุณลักษณะที่เป็นประโยชน์มากมายซึ่งตอบสนองความต้องการของกระบวนการทางอุตสาหกรรมที่มีประสิทธิภาพสูงโดยเฉพาะ**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามใบมีดตัด Semicorex Al2O3 ได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของกระบวนการตัดในอุตสาหกรรมต่างๆ ซึ่งรวมถึงแต่ไม่จำกัดเพียงฟิล์มและฟอยล์ การใช้งานทางการแพทย์ และการประกอบชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่ซับซ้อน**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม