Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสูญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
เมมเบรน Semicorex Silicon Carbide เป็นวิธีการกรองเซรามิกประสิทธิภาพสูงที่มีประสิทธิภาพสูงสำหรับความต้านทานทางเคมีที่ยอดเยี่ยมความเสถียรทางความร้อนและประสิทธิภาพการกรองที่เหนือกว่า การเลือก Semicorex หมายถึงการเลือกใช้เทคโนโลยีชั้นนำในอุตสาหกรรมที่ได้รับการสนับสนุนโดยกระบวนการผลิตที่ทันสมัยและความมุ่งมั่นในการส่งมอบโซลูชั่นที่เชื่อถือได้และประหยัดค่าใช้จ่ายที่ตอบสนองความท้าทายในการกรองที่ยากที่สุด*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามเมมเบรนคอมโพสิต Semicorex Silicon Carbide เป็นวิธีการกรองขั้นสูงโดยรวมคุณสมบัติที่เหนือกว่าของซิลิกอนคาร์ไบด์อลูมินาและแคลเซียมออกไซด์เพื่อส่งการกรองประสิทธิภาพสูงในอุตสาหกรรมที่หลากหลาย Semicorex เป็นตัวเลือกที่เชื่อถือได้สำหรับเทคโนโลยีที่ทันสมัยนี้นำเสนอคุณภาพความน่าเชื่อถือและโซลูชั่นที่ปรับแต่งที่ไม่มีใครเทียบเพื่อให้แน่ใจว่ามีประสิทธิภาพที่ดีที่สุดและประสิทธิภาพระยะยาวสำหรับความต้องการการกรองของคุณ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามเมมเบรน Semicorex Silicon Carbide เป็นโซลูชันการกรองขั้นสูงที่นำเสนอสารเคมีที่เหนือกว่าความร้อนและความต้านทานเชิงกลเหมาะสำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรม เลือก Semicorex สำหรับเยื่อหุ้มเซลล์คุณภาพสูงและทนทานของเราที่ให้ประสิทธิภาพที่ยาวนานประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือเพื่อให้มั่นใจว่าผลลัพธ์ที่ดีที่สุดในทุกกระบวนการกรอง*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex Sic Membrane เป็นโซลูชันการกรองเซรามิกที่มีประสิทธิภาพสูงที่ทำจากซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งออกแบบมาสำหรับการใช้งานการกรองอุตสาหกรรมที่ท้าทาย เลือก Semicorex สำหรับเยื่อหุ้มเซลล์ SIC ที่เชื่อถือได้ทนทานและมีประสิทธิภาพซึ่งให้ประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมและมูลค่าระยะยาวในสภาพแวดล้อมที่ต้องการมากที่สุด*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex Vacuum Chucks เป็นทางออกที่สมบูรณ์แบบสำหรับการจัดการเวเฟอร์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และความแม่นยำ ด้วยตัวเลือกวัสดุพื้นฐานที่หลากหลายการปรับแต่งแผ่นเซรามิกและการควบคุมความเรียบที่แม่นยำ chucks สูญญากาศของเราทำให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์เสถียรภาพที่เชื่อถือได้และผลลัพธ์กระบวนการที่ยอดเยี่ยม ออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ Chucks เหล่านี้ให้ประสิทธิภาพที่ไม่มีใครเทียบได้เพื่อให้มั่นใจว่ากระบวนการของคุณยังคงมีประสิทธิภาพและคุ้มค่า*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex Vacuum Vacuum Chuck ได้รับการออกแบบมาเพื่อการจัดการเวเฟอร์ที่แม่นยำและเชื่อถือได้ซึ่งนำเสนอตัวเลือกวัสดุที่ปรับแต่งได้เพื่อตอบสนองความต้องการการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย เลือก Semicorex สำหรับความมุ่งมั่นในการแก้ปัญหาที่มีคุณภาพสูงและทนทานซึ่งให้ประสิทธิภาพและประสิทธิภาพที่ดีที่สุดในทุกแอปพลิเคชัน*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม