Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสูญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
Semicorex Sic Vacuum Chucks เป็นอุปกรณ์เซรามิกประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับการดูดซับเวเฟอร์ที่ปลอดภัยในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยคุณสมบัติทางความร้อนเชิงกลและสารเคมีที่เหนือกว่าทำให้มั่นใจได้ถึงความมั่นคงและความแม่นยำในการเรียกร้องสภาพแวดล้อมของกระบวนการ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามเครื่องทำความร้อนคอมโพสิต Semicorex PBN เป็นองค์ประกอบความร้อนขั้นสูงที่ออกแบบมาสำหรับสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่มีอุณหภูมิสูงและสะอาดเป็นพิเศษซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในเซมิคอนดักเตอร์, ออพโตอิเล็กทรอนิกส์และอุตสาหกรรมการวิจัยวัสดุ เลือก Semicorex สำหรับความเชี่ยวชาญชั้นนำในอุตสาหกรรมการปรับแต่งชุดเล็กและคุณภาพระดับโลกในโซลูชั่นการทำความร้อน PBN*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex Sic Cantilever Paddles เป็นไม้คานซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีประสิทธิภาพสูงที่ใช้ในอุปกรณ์ประมวลผลความร้อนเซมิคอนดักเตอร์ออกแบบมาสำหรับการจัดการเวเฟอร์ที่มั่นคงในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูง การเลือก Semicorex หมายถึงการเลือกวัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูงความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมและเทคโนโลยีการผลิตที่มีความแม่นยำชั้นนำของอุตสาหกรรมเพื่อให้แน่ใจว่าทุกกระบวนการที่สำคัญของคุณมีความเสถียรและเชื่อถือได้*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามผู้ถือเรือ Semicorex sic เป็นส่วนประกอบโครงสร้างที่จำเป็นซึ่งทำให้มั่นใจได้ว่าการวางตำแหน่งเวเฟอร์ที่แม่นยำและเชื่อถือได้ในการประมวลผลความร้อนเซมิคอนดักเตอร์ เลือก Semicorex สำหรับคุณภาพที่ไม่มีใครเทียบความเชี่ยวชาญด้านเทคนิคและความมุ่งมั่นในการพัฒนาโซลูชั่น SIC ที่มีความสุขในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามเรือเวเฟอร์เซมิคอร์เป็นผู้ให้บริการเซรามิกที่ออกแบบมาอย่างแม่นยำซึ่งออกแบบมาสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์อุณหภูมิสูงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เลือก Semicorex สำหรับความบริสุทธิ์ของวัสดุที่ไม่มีใครเทียบเทคโนโลยีการผลิตขั้นสูงและความมุ่งมั่นต่อคุณภาพที่ทำให้มั่นใจได้ว่าประสิทธิภาพที่สอดคล้องกันในสภาพแวดล้อมที่สะอาดมากที่สุด
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามท่อเซมิคอร์ sic เป็นท่อเตาซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการอุณหภูมิสูงเซมิคอนดักเตอร์ด้วยความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมและความต้านทานการกัดกร่อนทางเคมี การเลือกวัตถุดิบที่มีความบริสุทธิ์สูงเซมิอร์ซ์กระบวนการผลิตที่แม่นยำและการรับประกันความน่าเชื่อถือในระยะยาวเพื่อให้การสนับสนุนที่แข็งแกร่งสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของคุณ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม