Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาปิดห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสุญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
Semicorex Electrostatic Chuck ESC เป็นเครื่องมือเฉพาะทางสูงที่ออกแบบมาเพื่อเพิ่มความแม่นยำและประสิทธิภาพในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ E-Chucks ของเรามีความได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex ESC Chuck เป็นส่วนประกอบที่สำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อยึดเวเฟอร์อย่างแน่นหนาในระหว่างกระบวนการผลิตต่างๆ Semicorex นำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงในราคาที่แข่งขันได้ เราพร้อมที่จะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex E-Chuck เป็นหัวจับไฟฟ้าสถิต (ESC) ขั้นสูงที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการใช้งานที่มีประสิทธิภาพสูงในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex คือผู้ผลิตชั้นนำสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ในประเทศจีน*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามความสามารถของ Semicorex Wafer Loader Arm ในการทนต่อสภาวะที่รุนแรงในขณะที่ยังคงรักษาประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมได้ตอกย้ำคุณค่าในการเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการผลิต และบรรลุผลผลิตและคุณภาพในระดับที่สูงขึ้น การผสานรวมวัสดุเซรามิกอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงทำให้มั่นใจในความสะอาด ความแม่นยำ และความทนทานที่เหนือกว่า**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามชิ้นส่วนซีล Semicorex SiC นำเสนอการผสมผสานระหว่างความแข็งเป็นพิเศษ ทนต่อสารเคมี และความเสถียรทางความร้อน ทำให้เป็นส่วนสำคัญสำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมที่มีความต้องการสูง คุณลักษณะขั้นสูงของชิ้นส่วนซีล SiC ช่วยให้มั่นใจถึงความทนทาน ความน่าเชื่อถือ และประสิทธิภาพ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและอายุการใช้งานของส่วนประกอบต่างๆ**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex SiC Boat เป็นส่วนประกอบขั้นสูงที่ได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะในกระบวนการแพร่และความร้อน ด้วยความมุ่งมั่นอย่างแน่วแน่ของเราในการนำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงในราคาที่แข่งขันได้ เราจึงพร้อมที่จะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม