Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสูญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
Semicorex Silicon Carbide Liner เป็นวัสดุอเนกประสงค์และทนทาน ซึ่งทำหน้าที่เป็นทรัพย์สินอันล้ำค่าในการเพิ่มประสิทธิภาพและอายุการใช้งานของอุปกรณ์แปรรูปทางอุตสาหกรรมให้เหมาะสม
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามกระจกบังคับเลี้ยว Semicorex SiC เป็นวัสดุที่โดดเด่นที่ผสมผสานความทนทาน ความยืดหยุ่น และประสิทธิภาพด้านการมองเห็นที่ยอดเยี่ยม ทำให้เป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้ในระบบแสงขั้นสูงในอุตสาหกรรมไฮเทคต่างๆ
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแหวนเซอร์โคเนียสีดำ Semicorex เป็นส่วนประกอบประสิทธิภาพสูงที่ให้การผสมผสานที่เป็นเอกลักษณ์ของความแข็งแรงทางกล ความแข็ง และความต้านทานต่อความท้าทายด้านความร้อนและเคมีในการปิดผนึกและฉนวนต่อกระบวนการตัดเฉือนและโลหะวิทยา
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามการใช้งานของ Semicorex Alumina Wafer Polishing Carrier ในอุตสาหกรรมต่างๆ ตั้งแต่เซมิคอนดักเตอร์ไปจนถึงไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ มีบทบาทสำคัญในกระบวนการเจียรและการขัดเงาด้วยกลไกทางเคมี (CMP) ของเวเฟอร์
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามวาล์วซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex เป็นส่วนประกอบสำคัญในการใช้งานทางอุตสาหกรรมต่างๆ โดยให้ความต้านทานการกัดกร่อนที่เหนือชั้น ความทนทานต่ออุณหภูมิ และความยืดหยุ่นทางกล เหมาะสำหรับอุตสาหกรรมตั้งแต่ปิโตรเคมีไปจนถึงชีวเภสัชภัณฑ์ ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการดำเนินงานที่มีประสิทธิภาพและเชื่อถือได้แม้ในสภาพแวดล้อมที่ท้าทายที่สุด
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามPBN Electrostatic Chuck จาก Semicorex มีความโดดเด่นในด้านการจัดการแผ่นเวเฟอร์ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากคุณสมบัติของวัสดุที่เป็นเอกลักษณ์
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม