Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสูญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
Semicorex microporous sic sic เป็นชัคสูญญากาศที่มีความแม่นยำสูงออกแบบมาสำหรับการจัดการเวเฟอร์ที่ปลอดภัยในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ เลือก Semicorex สำหรับโซลูชันที่ปรับแต่งได้การเลือกวัสดุที่เหนือกว่าและความมุ่งมั่นที่จะแม่นยำเพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพที่ดีที่สุดในความต้องการการประมวลผลเวเฟอร์ของคุณ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex Porous Ceramic Chuck (หัวจับสูญญากาศ) เป็นเครื่องมือที่มีความแม่นยำสูงซึ่งออกแบบมาเพื่อยึดเวเฟอร์อย่างแน่นหนาในระหว่างกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เมื่อเลือก Semicorex คุณจะได้รับประโยชน์จากโซลูชันที่นำเสนอประสิทธิภาพ ความทนทาน และตัวเลือกการปรับแต่งที่ยอดเยี่ยม ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพการผลิตที่เพิ่มขึ้นและมาตรฐานคุณภาพที่สม่ำเสมอ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามหัวจับสุญญากาศ Semicorex Alumina เป็นส่วนประกอบที่ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยำ ซึ่งออกแบบมาเพื่อยึดเวเฟอร์หรือซับสเตรตอย่างแน่นหนาในระหว่างกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญและกระบวนการผลิตที่มีความแม่นยำ ด้วยความมุ่งมั่นของ Semicorex ในด้านวัสดุคุณภาพสูงและเทคนิคการผลิตที่ล้ำสมัย หัวจับสูญญากาศอลูมินาของเรามอบความน่าเชื่อถือ ความแม่นยำ และประสิทธิภาพที่ไม่มีใครเทียบได้สำหรับการใช้งานที่มีความต้องการมากที่สุดของคุณ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามหัวจับสุญญากาศ Semicorex เป็นส่วนประกอบประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อการจัดการแผ่นเวเฟอร์ที่ปลอดภัยและแม่นยำในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เลือก Semicorex สำหรับโซลูชันขั้นสูง ทนทาน และป้องกันการปนเปื้อน ซึ่งรับประกันประสิทธิภาพสูงสุดแม้ในกระบวนการที่มีความต้องการมากที่สุด*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามโดยทั่วไปจะใช้ Semicorex Silicon Carbide Sleeve เป็นไลเนอร์ที่ทนทานต่อการสึกหรอและการกัดกร่อนสำหรับอุปกรณ์ต่างๆ เช่น กระบอกสูบ ปั๊ม วาล์ว แบริ่งเลื่อน และดรัมเครื่องเจียร
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามวงแหวนฉนวนอลูมินา Semicorex ถูกใช้เป็นฉนวนในส่วนประกอบไฟฟ้าต่างๆ คุณสมบัติของฉนวนไฟฟ้าที่ดีเยี่ยมทำให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ในการใช้งานที่การป้องกันการนำไฟฟ้าเป็นสิ่งสำคัญ
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม