Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสูญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
วงแหวนโฟกัสการประมวลผลพลาสม่า Semicorex ได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษเพื่อตอบสนองความต้องการสูงของการประมวลผลกัดพลาสม่าในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ส่วนประกอบเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ขั้นสูงและมีความบริสุทธิ์สูงของเราสร้างขึ้นเพื่อให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรง และเหมาะสำหรับใช้ในการใช้งานที่หลากหลาย รวมถึงชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์และเซมิคอนดักเตอร์อีพิแทกซี
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามวงแหวนโฟกัส SiC ขั้นสูงและมีความบริสุทธิ์สูง Semicorex สร้างขึ้นเพื่อให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรงในห้องกัดพลาสม่า (หรือกัดแห้ง) เรามุ่งเน้นไปที่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เช่น ชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์และเซมิคอนดักเตอร์เอพิแทกซี ผลิตภัณฑ์ของเรามีความได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex เป็นผู้ผลิตและจำหน่ายกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ขนาดใหญ่ในประเทศจีน แหวนซีลทางเข้า MOCVD ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex เป็นผู้ผลิตและจำหน่ายกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ขนาดใหญ่ในประเทศจีน วงแหวนทางเข้า MOCVD ของเรามีความได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex เป็นผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ขนาดใหญ่ของตัวรับกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ในประเทศจีน เรามุ่งเน้นไปที่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เช่น ชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์และเซมิคอนดักเตอร์เอพิแทกซี วงแหวนทางเข้าก๊าซสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex End Effector สำหรับการจัดการเวเฟอร์มีมิติที่แม่นยำและมีความเสถียรทางความร้อนสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ เราเป็นผู้ผลิตและจำหน่ายองค์ประกอบการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์มาหลายปีแล้ว ผลิตภัณฑ์ของเรามีความได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาส่วนใหญ่ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม