กราไฟท์ที่เคลือบ TaC สร้างขึ้นโดยการเคลือบพื้นผิวของซับสเตรตของกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงด้วยชั้นละเอียดของแทนทาลัมคาร์ไบด์โดยกระบวนการตกตะกอนด้วยไอสารเคมี (CVD) ที่เป็นกรรมสิทธิ์
แทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) เป็นสารประกอบที่ประกอบด้วยแทนทาลัมและคาร์บอน มีค่าการนำไฟฟ้าของโลหะและมีจุดหลอมเหลวสูงเป็นพิเศษ ทำให้เป็นวัสดุเซรามิกทนไฟที่ขึ้นชื่อเรื่องความแข็งแรง ความแข็ง ความร้อนและความต้านทานการสึกหรอ จุดหลอมเหลวของแทนทาลัมคาร์ไบด์จะมีจุดสูงสุดที่ประมาณ 3880°C ขึ้นอยู่กับความบริสุทธิ์ และมีจุดหลอมเหลวที่สูงที่สุดจุดหนึ่งในบรรดาสารประกอบไบนารี ทำให้เป็นทางเลือกที่น่าสนใจเมื่อความต้องการอุณหภูมิสูงเกินขีดความสามารถที่ใช้ในกระบวนการ epitaxx ของเซมิคอนดักเตอร์ผสม เช่น MOCVD และ LPE
ข้อมูลวัสดุของการเคลือบ Semicorex TaC
โครงการ |
พารามิเตอร์ |
ความหนาแน่น |
14.3 (กรัม/ซม.) |
การแผ่รังสี |
0.3 |
ซีทีอี (×10-6/เค) |
6.3 |
ความแข็ง (ฮ่องกง) |
2000 |
ความต้านทาน (โอห์ม-ซม.) |
1×10-5 |
เสถียรภาพทางความร้อน |
<2500 ℃ |
การเปลี่ยนแปลงขนาดกราไฟท์ |
-10~-20um (ค่าอ้างอิง) |
ความหนาของการเคลือบ |
≥20umค่าทั่วไป (35um ± 10um) |
|
|
ข้างต้นเป็นค่าทั่วไป |
|
แหวนเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ Semicorex เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ได้รับการออกแบบด้วยการเคลือบแบบพิเศษซึ่งทำหน้าที่หลายอย่างเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและอายุการใช้งานของส่วนประกอบกราไฟท์ภายในเครื่องจักรเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามชิ้นส่วนกราไฟท์เคลือบ Semicorex TaC เป็นส่วนประกอบที่สร้างขึ้นอย่างแม่นยำซึ่งได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษเพื่อให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่มีความต้องการของการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามฝาครอบกราไฟท์เคลือบ Semicorex TaC แสดงถึงโซลูชันที่ล้ำสมัยในด้านการใช้งานด้านความร้อนสำหรับการเติบโตของผลึกและกระบวนการเอพิแอกเซียล (epi) Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแหวนเคลือบ Semicorex TaC ถือเป็นองค์ประกอบสำคัญในขอบเขตของการเติบโตของโมโนคริสตัลภายในสนามความร้อน วงแหวนนำทางเฉพาะทางที่ประดิษฐ์ขึ้นด้วยความแม่นยำและนวัตกรรมนี้มีบทบาทสำคัญในกระบวนการที่ซับซ้อนของการผลิตวัสดุโมโนคริสตัลไลน์ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามตัวรับเวเฟอร์เคลือบ Semicorex TaC เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในเตาเผาโลหะ-อินทรีย์เคมีตกตะกอน (MOCVD) สำหรับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์เอพิแทกเซียล (epi) Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแผ่นเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ Semicorex TaC เป็นโซลูชันล้ำสมัยที่ออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในขั้นตอนการประมวลผลแบบเอปิแอกเซียล (epi) Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม